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[发明专利]粒子束系统-CN202211210551.1在审
发明人： G.沃尔特;H.多默;W.伯杰 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01N23/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种粒子束系统，该粒子束系统包括粒子束柱、检测系统40和控制器30。该粒子束柱被配置用于产生粒子束并将其引导到样品上，由此该样品发射带电粒子41。该检测系统40用于检测这些带电粒子41并且包括可以使带电粒子41加速的电极E、向电极E施加可调电势的电势源42、闪烁体43、和输出检测信号的光检测器44。该控制器30控制该电势源42并且被配置为基于该检测信号来改变电势，使得该闪烁体43在其饱和之外操作并且使得该光检测器44在其饱和之外操作。
粒子束系统

[发明专利]操作粒子辐射设备的方法和执行该方法的粒子辐射设备-CN201910140445.2在审
发明人： D.普雷克斯扎斯;G.沃尔特 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或挡板单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。
粒子辐射移动图像电流摆动工作电压显示装置最小偏差样品台摆动物镜射束发生器挡板单元定向位置偏转单元