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[发明专利]操纵器、操纵器阵列、带电粒子工具、多射束带电粒子工具和带电粒子射束的操纵方法-CN202180041541.7在审
发明人： L·迪努·古特勒;G·阿克斯诺夫 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H01J37/12 文献下载
摘要：一种用于在投射系统中操纵带电粒子射束的操纵器，该操纵器包括衬底，该衬底具有相对的主表面和贯穿通道，在这些主表面的每个主表面中限定有孔径，该贯穿通道具有在孔径之间延伸的互连表面，其中互连表面包括一个或多个电极。操纵器还包括分压器，该分压器包括串联连接的两个或更多个电阻元件，该分压器包括每对相邻电阻元件之间的中间节点，其中至少一个电阻元件形成在衬底内以便在这些相对的主表面之间延伸；其中中间节点电连接到一个或多个电极中的至少一个电极。
操纵阵列带电粒子工具束带方法

[发明专利]静电透镜设计-CN202180017436.X在审
发明人： L·德尔·廷;A·J·施特格曼;G·阿克斯诺夫;D·马丁内斯·内格雷特·加斯奎;P·L·勃兰特 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01J37/10 文献下载
摘要：本文公开了一种用于使带电粒子束聚焦的操纵器透镜装置，其中该操纵器透镜装置包括：第一结构(401)，通过该第一结构(401)形成开口，其中束路径基本上沿着开口的纵向轴线；具有包围开口的表面(406)的第二结构(402)；支撑件(403)，将第二结构连接到第一结构并包围第二结构；以及电极布置(407)，被设置在第二结构的表面(406)上，其中第一结构(401)的第一表面(404)包围开口，第一结构(401)的第二表面(405)包围开口，第二结构(402)的表面(406)沿着纵向轴线被布置在第一结构的第一和第二表面之间，电极布置(407)与第一结构(401)的第一(404)和第二(405)表面中的每一者在平行于纵向轴线的方向上通过相应的间隙彼此分离，其中，沿着纵向轴线，支撑件(403)的范围小于第二结构和/或电极布置(407)的表面(406)的范围。还公开了一种多阵列透镜，被配置为沿着多束路径使多个带电粒子子束聚焦，其中该阵列中的每个透镜包括所述操纵器透镜装置。
静电透镜设计