专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]涂敷基底的系统及插入元件-CN200610009317.7无效
  • M·舒马赫;G·约斯 - 应用薄膜两合股份有限公司
  • 2006-02-23 - 2006-09-06 - C03C17/00
  • 一用来涂敷一基底(3)、尤其是一透明的基底的系统(1),该系统包括至少一个涂敷腔室(2)、至少一个用来在涂敷腔室(2)内产生一真空的泵装置(5),以及至少一个喷溅阴极(9)。一个或多个阴极(9)连同经历处理诱发的脏物的系统部件一起集成在一插入元件内,系统部件例如有屏蔽、盖,或用来传输基底(3)通过涂敷腔室(2)的运输滚轮(6)。插入元件(8)可以像一抽屉那样滑动通过腔室壁(2a)内的一侧向开口(10)进入到腔室内部。为了维护的目的,需要彻底维护和清洁的涂敷系统(1)的任何部件,可借助于插入元件(8)容易地从涂敷腔室(2)的内部移出。通过插入一刚开始服役的插入元件,被移出的插入元件(8)就可被直接更换。
  • 基底系统插入元件

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