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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]使目标层图案化的方法-CN201810161802.9有效
发明人： B·布里格斯;F·瑟百;J·博梅尔斯;Z·托克;C·威尔森;K·德芙瑞恩得特 -专利权人： IMEC 非营利协会
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：根据本发明的一个方面，提供一种使得目标层图案化的方法，该方法包括：在目标层上形成数根间隔开的平行材料线，以使得在材料线之间形成曝露目标层的纵向间隙，用牺牲材料填充所述间隙，通过沿着所述间隙中的一条间隙的一部分去除牺牲材料来形成孔，所述孔延伸跨越所述间隙，并使得目标层曝露于所述间隙中，用填充材料来填充所述孔，以形成延伸跨越所述间隙的阻断部分，相对于所述材料线和所述阻断部分从所述目标层选择性地去除牺牲材料以使得间隙曝露，所述一条间隙是通过所述阻断部分沿纵向方向中断的，将包括材料线和所述阻断部分的图案转移到目标层中。
目标图案方法

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