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[发明专利]用于多子束带电粒子束设备的束消隐装置-CN202080083616.3有效
发明人： B·J·库克;E·霍根 -专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：提供了一种用于多子束带电粒子束设备的束消隐装置。束消隐装置包括第一消隐单元、第二消隐单元、和第三消隐单元。第一消隐单元包括第一消隐电极和第一孔。第二消隐单元包括第二消隐电极和第二孔。第三消隐单元包括第三消隐电极和第三孔。束消隐装置包括公共电极，所述公共电极形成用于第一消隐电极的第一相对电极、用于第二消隐电极的第二相对电极和用于第三消隐电极的第三相对电极。第一消隐单元、第二消隐单元、和第三消隐单元布置在平面阵列中并限定平面阵列的平面。第一消隐电极布置为在第一孔中在第一消隐电极和公共电极之间产生第一电场，以将多子束带电粒子束设备的第一子束偏转到第一偏转方向。第二消隐电极布置为在第二孔中在第二消隐电极和公共电极之间产生第二电场，以将多子束带电粒子束设备的第二子束偏转到第二偏转方向。第三消隐电极布置为在第三孔中在第三消隐电极和公共电极之间产生第三电场，以将多子束带电粒子束设备的第三子束偏转到第三偏转方向。与平面阵列相交的分隔平面将第一消隐单元与第二消隐单元和第三消隐单元分开，其中第一偏转方向、第二偏转方向、和第三偏转方向指离分隔平面。
用于束带粒子束设备束消隐装置

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