专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抛光台板及抛光台板制造方法-CN202080037438.0在审
  • B·J·金;D·洛伊;J·古鲁萨米;S·M·苏尼加 - 应用材料公司
  • 2020-05-27 - 2021-12-31 - B24B37/10
  • 本公开的实施例总体上涉及制造用于化学机械抛光(CMP)系统的抛光台板的方法以及由其形成的抛光台板。一种制造抛光台板的方法包括将抛光台板定位在制造系统的支撑件上。所述制造系统包括支撑件和面向支撑件的切割工具。此处,抛光台板包括圆柱形金属体,所述圆柱形金属体的表面上设置有聚合物层,并且所述聚合物层的厚度为约100μm或以上。所述方法还包括使用切割工具去除聚合物层的至少一部分,以形成抛光垫安装表面。有利地,所述方法可以用于形成具有期望的平坦度或形状(诸如凹入形状或凸出形状)的垫安装表面。
  • 抛光制造方法

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