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[发明专利]采用直流脉冲阴极阵列的设备和方法-CN202180020780.4在审
发明人： M·厄尔加扎里;O·拉通德;C·埃格利 -专利权人：瑞士艾发科技
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：用于在基材上溅射沉积材料的设备，所述设备（30）包括：‑沉积室（31）；‑安装在沉积室中的阴极阵列，所述阵列具有三个或更多个旋转阴极（1、2、3、4、n），每个阴极具有相等靶长度LT的圆柱形靶（5、6、7、8、n）和磁系统（9、10、11、12、n），该阴极彼此间隔以使它们的纵轴YCj以距基材平面S的距离TSD彼此平行布置，并以距离TTT沿基材轴X的投影间隔开，其中该阴极阵列的每个阴极包括磁系统（9、10、11、12、n），并且至少一个阴极的磁系统（9、12、n）围绕相应的阴极轴YCj回转安装，以使磁系统回转进入和离开回转平面PTS；‑底座（15），其设计为以静态方式支撑要涂覆的最大尺寸x*y的至少一个基材（14），该底座位于沉积室中，相对于阴极阵列在前方并居中；‑至少一个脉冲电源（13），其配置为向至少一个阴极供应和控制电力。
采用直流脉冲阴极阵列设备方法

[发明专利]用于真空腔室的闸门阀以及真空腔室-CN200880121748.X有效
发明人： P·瓦格纳;A·迈耶;C·埃格利 -专利权人：欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： F16K3/18 文献下载
摘要：一种用于真空腔室的闸门阀包括两个托架(5a)，其中每个托架通过两个平行的链接(6)连接到提供基本上平的前部的框架结构并通过平行杆(14)连接到致动杆(12a)。活塞(17)通过杆(14)引起致动杆(12a)向上运动，托架(5a)的向上运动通过链接(6)转换为环形运动，其中托架(5a)同时靠近前部并保持与其平行，移动固定在托架(5a)上的密封板(9)到达工作位置，在此其压靠前部并密封其中的开口(3)。活塞(17)的取出产生相反运动，从而密封板(9)完全从开口(3)移走而使开口(3)更容易通入。
用于空腔闸门以及