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[发明专利]泵送线布置中的改进或与其相关的改进-CN201880045121.4有效
发明人： A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：在半导体制造领域中，存在确保不同的不相容过程流不以由此存在发生不同过程流之间的灾难性反应的高风险的方式而彼此混合的需要。一种泵送线布置（10）包括腔室连接线（12），所述腔室连接线（12）流体地可连接到形成半导体制造工具（15）的一部分的过程腔室（14）。所述泵送线布置（10）还包括阀模块（16），所述阀模块（16）流体地连接到所述腔室连接线（12）。所述阀模块（16）将所述腔室连接线（12）分成相应的第一和第二泵送线（18、20）。所述第一泵送线（18）旨在载送第一过程流，并且所述第二泵送线（20）旨在载送与所述第一过程流不相容的第二过程流。所述第一泵送线（18）或所述第二泵送线（20）中的至少一个包括流体地连接在其内的预减少模块（26、28），所述预减少模块（26、28）被配置成从旨在由其它泵送线（18、20）载送的过程流中去除一个或多个不相容的组分。
泵送线布置中的改进与其相关

[发明专利]用于排空来自处理室的腐蚀性流出气体流的装置-CN201680042943.8有效
发明人： C.M.贝利;C.M.L.滕纳;J.R.塔特索尔;I.S.格雷厄姆;M.R.切尔尼亚克;G.P.奈特;D.门尼;D.M.普赖斯;D.M.巴克;A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：使用干式泵来泵送来自半导体行业的多种气体混合物。本发明提供一种液环泵，其定位在所述干式泵与减排设备之间以在废气进入所述减排设备之前去除可溶性腐蚀性物质，从所述液环泵排出的工作流体在进入所述减排设备之前与所述气体分离。
用于排空来自处理腐蚀性流出气体装置

[发明专利]用于被污染气体的焚化的辐射式燃烧器-CN202110551161.X在审
发明人： A.J.西利;D.M.普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：公开了一种辐射式燃烧器和方法。该辐射式燃烧器用于处理来自制造加工工具的废气流且包括：多个处理室，每一个处理室具有排出流入口，以便将所述废气流的相应部分供应至该处理室以在其内处理。以这种方式，可以提供多个处理室，每一个处理室处理排出流的一部分。因此，处理室的数量能够被选定为匹配来自任意具体加工工具的废气流的流动速率。这提供一种架构，其能够可靠地缩放，以适应任意废气流流动速率的需要。
用于污染气体焚化辐射燃烧

[发明专利]液环泵-CN201680042944.2有效
发明人： G.P.奈特;A.J.西利;G.扬;D.M.普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： F04C19/00 文献下载
摘要：使用液环泵来泵送多种流体类型。腐蚀性流体容易由工作流体处置，但是可能导致泵送机构的腐蚀。本发明提供一种具有耐腐蚀泵送机构的磁性驱动的液环泵，其在服务间隔之间实现较长时间。
液环泵

[发明专利]辐射式燃烧器-CN201680019987.9有效
发明人： A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： F23D14/16 文献下载
摘要：公开了一种辐射式燃烧器和方法。该辐射式燃烧器用于处理来自制造加工工具的废气流并且包括：多孔套筒，所述多孔套筒至少部分地限定处理室且处理材料穿过其以便引入处理室；和电能设备，其与多孔套筒联接并且可操作成提供电能以加热多孔套筒，在处理材料穿过多孔套筒进入处理室时，所述多孔套筒加热处理材料。以这种方式，电能而不是燃烧能够被用于升高处理室内的温度，以便处理废气流。这在此类燃烧器的使用中提供更大的灵活性，因为能够在其中没有燃料气体存在或其中燃料气体的提供被认为是不期望的环境中使用燃烧器。而且，在处理材料穿过多孔套筒时加热处理材料而不是简单地使用辐射加热以加热处理室使得在处理材料运输通过多孔套筒时，显著更多的能量能够被施加至处理材料内。
辐射燃烧

[发明专利]离心减除设备-CN201580039542.2有效
发明人： A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2015-07-20 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B01D45/14 文献下载
摘要：公开了一种减除设备以及方法。该减除设备用于处理来自半导体过程工具的流出物流，包括：第一处理级，该第一处理级可操作以燃烧该流出物流以提供经燃烧的流出物流，并且以用水处理该经燃烧的流出物流以提供第一级经处理流出物流，该第一级经处理流出物流包括经处理流体以及燃烧颗粒和水；以及第二处理级，该第二处理级可操作以在进口接收该第一级经处理流出物流，并且从该经处理流体离心地分离出至少一些燃烧颗粒和水，该经处理流体在经处理流体出口被提供作为第二级经处理流出物流。这样，可以有效地从该经燃烧的流出物流去除颗粒和水，而不需要不方便的静电除尘器。替代地，该第二处理级提供了在较小范围内的改进的颗粒捕获。而且，使用水有助于从经处理流体分离地保留颗粒。
离心减除设备

[发明专利]离心减除分离器-CN201580039504.7有效
发明人： A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2015-07-20 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B04B5/12 文献下载
摘要：公开了一种分离器设备以及方法。所述分离器设备包括：进口，所述进口可操作以接收包括流体和颗粒的流出物流；离心分离器，所述离心分离器包括可操作以从流体分离出至少一些颗粒的径流式风扇和离心颗粒分离器；流体出口，所述流体出口用于提供流体；以及颗粒出口，所述颗粒出口用于提供从流体分离出的颗粒。这样，可以有效地从流出物流中的流体去除颗粒，而不需要不方便的静电除尘器或者其它大型颗粒分离器。替代地，所述设备提供了在较小范围内的改进的颗粒捕获和去除。这提供了更加有效且紧凑的装置。
离心减除分离器

[发明专利]用于辐射燃烧器的废气入口组件-CN201580068476.1有效
发明人： A.J.西利;D.M.普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2015-12-10 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： F23D14/12 文献下载
摘要：公开了一种用于燃烧器的入口组件（50）和一种方法。入口组件（50）包括：入口喷嘴，其限定：入口开口（240），该入口开口可与入口导管联接，该入口导管提供废气流以用于由燃烧器处理；非圆形出口开口（260）；和喷嘴孔，其沿着纵向轴线在入口开口（240）和出口开口（260）之间延伸，以用于将废气流从入口开口（240）传送到出口开口（260）以输送到燃烧器的燃烧室，该喷嘴孔具有从入口开口（240）延伸的入口部分（200）、延伸到非圆形出口开口（260）的出口部分（220）、和在入口部分与出口部分之间的具有减小的挡板开口（270）的挡板部分（210）。以这种方式，非圆形出口开口（260）将非圆形废气流流动提供到燃烧室中。非圆形废气流动使得更大体积的废气流能够被引入到燃烧室中，同时仍达到或超过所要求的消除水平。这是因为，与等效圆形废气流相比，非圆形废气流提供缩短的距离，扩散和反应需要沿该距离发生。因此，与等效圆形废气流相比，能够消除废气流的增加的体积。
废气流入口开口燃烧室非圆形出口开口非圆形燃烧器挡板出口开口入口导管入口组件喷嘴孔延伸废气流动入口喷嘴纵向轴线减小联接出口扩散引入流动

[发明专利]等离子体焰炬-CN201510863060.0有效
发明人： S.A.沃罗宁;C.J.P.克莱门茨;D.M.麦克格拉思;F.格雷;A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2012-04-12 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：为了延长直流等离子体消减装置的维修周期，一种经修改的直流等离子体矩阵具备：导电阴极和导电阳极，导电阴极和导电阳极彼此间隔开以在它们之间形成间隙；金属涡流衬套，至少部分地位于间隙内并且包括通道，通道适于在使用中允许气体通过间隙流动；以及陶瓷元件，插置于下列中的任一个或多个之间：阴极与涡流衬套；以及阳极与涡流衬套。
涡流衬套直流等离子体导电阳极导电阴极矩阵阴极等离子体焰炬阳极间隙流动气体通过陶瓷元件维修周期消减装置金属

[发明专利]用于被污染气体的焚化的辐射式燃烧器-CN201680019973.7在审
发明人： A.J.西利;D.M.普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： F23D14/02 文献下载
摘要：公开了一种辐射式燃烧器和方法。该辐射式燃烧器用于处理来自制造加工工具的废气流且包括多个处理室，每一个处理室具有排出流入口，以便将所述废气流的相应部分供应至该处理室以在其内处理。以这种方式，可以提供多个处理室，每一个处理室处理排出流的一部分。因此，处理室的数量能够被选定为匹配来自任意具体加工工具的废气流的流动速率。这提供一种架构，其能够可靠地缩放，以适应任意废气流流动速率的需要。
用于污染气体焚化辐射燃烧

[发明专利]等离子体焰炬-CN201280018400.4有效
发明人： S.A.沃罗宁;C.J.P.克莱门茨;D.M.麦克格拉思;F.格雷;A.J.西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2012-04-12 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：为了延长直流等离子体消减装置的维修周期，一种经修改的直流等离子体焰炬具备导电阴极和导电阳极，导电阴极和导电阳极彼此间隔开以在它们之间形成间隙；金属涡流衬套，至少部分地位于间隙内并且包括通道，通道适于在使用中允许气体通过间隙流动；以及陶瓷元件，插置于下列中的任一个或多个之间阴极与涡流衬套；以及阳极与涡流衬套。
等离子体

[发明专利]气流的净化-CN200980131225.8有效
发明人： A.J.西利;R.B.格兰特 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2009-06-24 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： B01D53/14 文献下载
摘要：将至少一种气态杂质例如硅烷通过从进料气流例如包含氮气和氢气的气流中吸收来除去，该气态杂质的挥发性低于该进料气流。该吸收是通过处于第一低温和第一压力的低温冷却吸收剂来进行的。该吸收剂典型地是丙烷。该吸收可以在液-气接触柱(130)中进行。含有杂质的吸收剂可以在再生容器150中再生，并且返回到所述的柱(130)。
气流净化

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