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[发明专利]能量射束大小验证-CN201580044540.2有效
发明人： A.斯尼斯 -专利权人：阿卡姆股份公司
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G02B7/10 文献下载
摘要：一种用于验证能量射束点的大小的方法，所述方法包括以下步骤：在工件上的第一位置处提供具有预定大小和功率的第一射束点，为所述第一射束点变化聚焦和/或像散透镜设置，直到检测到针对射束点的最大强度为止，将用于射束点的所述最大强度的所述聚焦透镜和/或像散透镜的所检测的设置与用于具有所述预定大小和功率的射束点的所述聚焦透镜和/或像散透镜的所存储的设置比较，为不同的预定射束功率重复步骤a‑c，为所述工件上的不同位置重复步骤a‑d，其中如果所述聚焦透镜和/或像散透镜的每个检测的设置从所述聚焦透镜和/或像散透镜的对应存储的设置偏离得小于预定值，则所述射束点大小被验证。
能量大小验证

[发明专利]用于能量射束偏转速度验证的方法和装置-CN201580044529.6有效
发明人： A.斯尼斯 -专利权人：阿卡姆股份公司
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：一种用于验证能量射束点的偏转速度的方法，所述方法包括以下步骤：利用能量射束点在工作台上提供预定的图案，而同时用第一偏转速度来偏转能量射束点，检测工作台上用第一偏转速度所创建的能量射束点的第一定位，利用能量射束点在工作台上提供预定的图案，而同时用第二偏转速度来偏转能量射束点，检测工作台上用第二偏转速度所创建的能量射束点的第二定位，比较第一和第二定位，其中如果第一定位中的每一个从对应的第二定位偏离得小于预定距离则偏转速度被验证。
能量偏转速度验证