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[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法-CN201680071589.1有效
发明人： J·克拉森;J·赖因穆特;J-P·施塔德勒;A·布赖特林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，具有以下步骤：提供MEMS晶片(20)和罩晶片(10)；在所述MEMS晶片(20)中构造微机械结构(23、24)用于至少两个传感器(S1、S2)；以所述罩晶片(10)气密地封闭所述MEMS晶片(20)；构造到第一传感器(S1)的第一空穴中的第一进入孔(12)；将限定的第一压力通过所述第一进入孔(12)引入到所述第一传感器(S1)的空穴中；封闭所述第一进入孔(12)；构造到第二传感器(S2)的第二空穴中的第二进入孔(13)；将限定的第二压力通过所述第二进入孔(13)引入到所述第二传感器(S2)的空穴中；并且封闭所述第二进入孔(13)。
用于制造微机结构元件方法

[发明专利]具有激光激活的吸气剂材料的传感器元件-CN201680071579.8有效
发明人： J·赖因穆特;A·布赖特林;J·弗莱;E·格拉夫;M·阿梅托沃布拉 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，该微机械结构元件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底中或在罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件的周围环境的进入开口，其中，在第二方法步骤中，设定在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在时间上在所述第三方法步骤之前将用于进一步设定第一压力和/或第一化学组分的可逆吸气剂引入到第一空穴中。
具有激光激活吸气材料传感器元件

[发明专利]具有激光激活的吸气剂材料的传感器元件-CN201680071564.1有效
发明人： A·布赖特林;M·阿梅托沃布拉 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，该微机械结构元件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底中或在罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件的周围环境的进入开口，其中，在第二方法步骤中，设定在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，借助于通过激光产生的激光辐射至少部分在第三方法步骤期间激活在第三方法步骤之前引入到第一空穴中的吸气剂。
具有激光激活吸气材料传感器元件

[发明专利]用于测量外部磁场的磁场传感器和方法-CN201780029613.X有效
发明人： C·保陶克;A·布赖特林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-05-09 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01R33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测量外部磁场(100)的磁场传感器(1；2；4；6)，具有传感器装置(107；607)；和磁通导体组件(110；210；410；610)，该磁通导体组件具有至少一个可切换元件(101至104；201至204；401至404；601至604)，所述可切换元件构造为用于将外部磁场(100)的磁通根据所述至少一个可切换元件(101至104；201至204；401至404；601至604)的切换状态转向到传感器装置(107；607)上，其中，所述传感器装置(107；607)设计为用于测量所述外部磁场(100)的经转向的磁通；和分析处理装置(111)，所述分析处理装置设计为用于根据由所述传感器装置(107；607)测量出的所述外部磁场(100)的经转向的磁通和所述至少一个可切换元件(101至104；201至204；401至404；601至604)的切换状态求取所述外部磁场(100)的值。
用于测量外部磁场传感器方法

[发明专利]磁传感器装置和用于磁传感器装置的制造方法-CN201480060663.0有效
发明人： T·锡南奥卢;S·真科尔;C·保陶克;A·布赖特林;A·丹嫩贝格;V·森兹 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-09-05 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01R33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁传感器装置，其具有：沿第一中心纵轴线(10)取向的、具有至少一个第一线圈(18)的第一磁芯结构(12)，和具有至少一个第二线圈(20)的第二磁芯结构(16)，其中，该第二磁芯结构(16)从该第二磁芯结构(16)的第一端部面(16a)沿第二中心纵轴线(14)延伸至该第二磁芯结构(16)的第二端部面(16b)，其中，所述第二中心纵轴线(14)位于一与所述第一中心纵轴线(10)垂直地取向的平面内，并且其中，所述第二磁芯结构(16)相对于所述第一磁芯结构(12)这样布置，使得该第二磁芯结构(16)的第一端部面(16a)相对于该第一磁芯结构(12)的第一重心(S1)的间距(a1，a2)小于该第一磁芯结构(12)沿该第一中心纵轴线(10)的最大延伸(L1)的20％。此外，本发明涉及用于该磁传感器装置的制造方法。
传感器装置用于制造方法

[发明专利]传感器装置及其制造方法和用于求取沿至少一个空间方向的磁场的场强的方法-CN201480076280.2有效
发明人： F·赖兴巴赫;S·真科尔;R·埃克施泰因;C·保陶克;A·布赖特林;A·丹嫩贝格;F·沙茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-12-22 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01R33/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种传感器装置，其具有：布置在至少一个承载面(16)上的至少一个磁芯(10)，所述至少一个磁芯包括至少一种软磁材料(12)，并且对于所述至少一个磁芯(10)能够分别限定一个中间纵向平面(18)，所述中间纵向平面垂直于所述承载面(16)地定向并且将相应的磁芯(10)分为具有相同质量的两个半部，其中，在所述至少一个磁芯(10)上、环绕所述至少一个磁芯(10)和/或与所述至少一个磁芯(10)相邻地布置有至少一个线圈，其中，所述至少一个磁芯(10)在其内部具有部分区域，借助于所述部分区域能够有针对性地局部控制相应磁芯(10)再磁化的开始，其方式是，提高为了使磁畴壁传播而要施加的驱动能量。同样，本发明涉及一种用于具有至少一个磁芯(10)的传感器装置的制造方法。此外，本发明涉及一种用于求取沿至少一个空间方向的磁场的场强的方法。
传感器装置用于具有至少一个制造方法求取空间方向磁场场强