本发明公开一种高精度低抖动延时脉冲发生器,包括TDC(Time digital converter)模块测量外部触发信号与时钟信号之间的时间间隔,用于补偿脉冲输出的抖动;抖动补偿模块将TDC测得的时间信息与用户设定的延时信息进行处理得出最终延时信息补偿到输出脉冲上;粗延时模块用于对触发信号进行粗略延时,延时输出到细延时芯片上;串口通信模块用与将用户设定的延时信息发送到上位机;Nios II软核处理器模块,将用于设定信息进行处理发送到相应的模块。本发明利用粗细结合的延时方法解决了计数器精度低与数控延时芯片延时范围小的问题,同时利用TDC技术大大降低了输出脉冲的抖动。整个系统集成度高。延时精度到达22ps,脉冲输出抖动为500ps。