专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]主端口和利用其的基板处理装置以及主端口清洗方法-CN202211539735.2在审
  • 孙永俊;姜亨奭;金旻佑 - 细美事有限公司
  • 2022-12-02 - 2023-06-06 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种主端口和利用其的基板处理装置以及主端口清洗方法。提供一种主端口,包括:壳体,被支架支承并在内部形成有空间;喷嘴架部,布置在所述壳体的上部并用于支承向基板喷出工艺液的喷嘴;倾斜面,形成在所述空间中的所述喷嘴架部的下侧;排气口,用于对在所述壳体内部空间中形成的烟雾(Fume)进行排气;冲洗供应孔,供应冲洗液,所述冲洗液用于去除从支承在所述喷嘴架部的喷嘴中喷出的工艺液中的留在所述倾斜面的残留工艺液;绞链,布置在所述壳体的下部而使所述壳体和支架能够相互旋转地绞链结合;以及驱动构件,使所述壳体向所述倾斜面与设置有所述壳体的底面平行的方向旋转。
  • 端口利用处理装置以及清洗方法

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