专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置-CN202210628825.2在审
  • 金奇奂;柳廷昊;李峭蒑;全勇昱;曺荣大 - 三星电子株式会社
  • 2022-06-06 - 2023-02-17 - H01L29/08
  • 提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括:有源图案,具有下部图案和在第一方向上与下部图案间隔开的片状图案;源/漏图案,在下部图案上,源/漏图案与片状图案接触;以及栅极结构,在源/漏图案的相对侧上,栅极结构沿第二方向彼此间隔开并且包括围绕片状图案的栅电极,其中,源/漏图案包括:第一外延区域,具有锑和铋中的至少一种,第一外延区域具有与下部图案接触但不与片状图案接触的底部,并且底部的厚度在第二方向上远离栅极结构增大然后减小;以及第二外延区域,在第一外延区域上,第二外延区域包括磷。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体器件-CN202111544172.1在审
  • 金奇奂;张星旭;郑秀珍;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2021-12-16 - 2022-07-08 - H01L29/78
  • 一种半导体器件包括:有源区,所述有源区在衬底上沿第一方向延伸;多个沟道层,所述多个沟道层在所述有源区上彼此垂直间隔开,并且包括半导体材料;栅极结构,所述栅极结构在所述衬底上沿第二方向延伸;和源极/漏极区,所述源极/漏极区在所述栅极结构的至少一侧设置所述有源区上。所述栅极结构与所述有源区和所述多个沟道层相交,并且围绕所述多个沟道层。所述源极/漏极区接触所述多个沟道层,并且包括第一杂质。在所述多个沟道层的至少一个沟道层中,与所述有源区相邻的下部区域包括第一浓度的所述第一杂质和第二杂质,并且上部区域包括低于所述第一浓度的第二浓度的所述第一杂质和所述第二杂质。
  • 半导体器件
  • [发明专利]半导体装置-CN202111391234.X在审
  • 金奇奂;张星旭;郑秀珍;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2021-11-23 - 2022-06-28 - H01L27/088
  • 公开了半导体装置。所述半导体装置包括:有源区,在第一方向上延伸;多个沟道层,在有源区上;栅极结构,在第二方向上延伸;以及源区/漏区,设置在有源区上,并且连接到多个沟道层中的每个,其中,源区/漏区包括:第一外延层,具有下端部分和沿着多个沟道层的侧表面连续延伸的侧壁部分,并且第一外延层掺杂有第一杂质;以及第二外延层,在第一外延层上,具有与第一外延层的成分不同的成分,并且掺杂有第二杂质,其中,第一杂质在第一外延层的成分中的扩散率低于第二杂质在第一外延层的成分中将具有的扩散率。
  • 半导体装置
  • [发明专利]集成电路器件-CN202111256976.1在审
  • 郑秀珍;金奇奂;张星旭;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2021-10-27 - 2022-06-24 - H01L27/088
  • 一种集成电路(IC)器件包括在衬底上在第一横向方向上纵长地延伸的鳍型有源区。纳米片在垂直方向上与鳍型有源区的鳍顶表面分开。内绝缘间隔物位于衬底与纳米片之间。栅极线包括主栅极部分和子栅极部分。主栅极部分在纳米片上在第二横向方向上纵长地延伸。子栅极部分一体地连接至主栅极部分,并且位于衬底与纳米片之间。源极/漏极区与内绝缘间隔物和纳米片接触。源极/漏极区包括单晶半导体主体和从内绝缘间隔物穿过单晶半导体主体线性地延伸的至少一个下堆垛层错面。
  • 集成电路器件
  • [发明专利]半导体装置-CN202111464731.8在审
  • 郑秀珍;金奇奂;张星旭;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2021-12-03 - 2022-06-14 - H01L27/088
  • 提供了一种半导体装置。半导体装置包括:有源图案,其包括下图案和多个片状图案,多个片状图案在第一方向上与下图案间隔开;源极/漏极图案,其位于下图案上,并且接触多个片状图案;以及栅极结构,其位于源极/漏极图案在与第一方向不同的第二方向上的相对侧上,栅极结构包括多个片状图案上的栅电极,其中,源极/漏极图案具有包括半导体材料的外延区和在外延区内并且由半导体材料包围的空腔区。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置-CN202111478685.7在审
  • 曹荣大;金奇奂;张星旭;郑秀珍 - 三星电子株式会社
  • 2021-12-06 - 2022-06-07 - H01L29/10
  • 一种半导体装置,其包括具有与对应的硅锗衬垫对齐并且填充有掺杂的半导体源极和漏极区的源极和漏极凹部的衬底。设置了堆叠的多个半导体沟道层,它们在衬底内通过在硅锗衬垫之间横向地延伸的对应的埋置的绝缘栅电极区彼此竖直地分离。绝缘栅电极设置在多个半导体沟道层中的最上面的一个上。硅锗衬垫可掺杂有碳。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置及其制造方法-CN201610950591.8有效
  • 金奇奂;朴起宽;刘庭均;申东石;金辰昱 - 三星电子株式会社
  • 2016-10-26 - 2021-11-02 - H01L27/02
  • 一种半导体装置包括从基板向上突出的第一和第二有源图案、交叉第一和第二有源图案且在第一方向上延伸的栅电极、在第一有源图案上且在栅电极的至少一侧的第一源极/漏极区域、以及在第二有源图案上且在栅电极的至少一侧的第二源极/漏极区域。第一和第二源极/漏极区域具有彼此不同的导电类型,并且第二源极/漏极区域具有与所述第二有源图案的顶表面接触的底表面,并且第二源极/漏极区域的底表面的高度低于第一源极/漏极区域的与第一有源图案的顶表面接触的底表面。第一有源图案具有小于第二有源图案的第二宽度的第一宽度。
  • 半导体装置及其制造方法
  • [发明专利]半导体装置-CN201610847647.7有效
  • 金奇奂;刘庭均;朴起宽;申东石;金辰昱 - 三星电子株式会社
  • 2016-09-23 - 2021-06-01 - H01L29/78
  • 提供一种半导体装置。所述半导体装置包括:基底,包括第一区和第二区;第一鳍型图案和第二鳍型图案,形成在第一区中,远离基底突出,并在第一方向上延伸;第一源极/漏极,位于第一鳍型图案上,第一源极/漏极在与第一方向相交的第二方向上的剖面呈第一凸起多边形的形状;第二源极/漏极,位于第二鳍型图案上,第二源极/漏极在第二方向上的剖面呈与第一凸起多边形的形状相同的第二凸起多边形的形状;第三鳍型图案和第四鳍型图案,形成在第二区中,远离基底突出;第三源极/漏极,位于第三鳍型图案上;以及第四源极/漏极,位于第四鳍型图案上,第四源极/漏极在第四方向上的剖面是与第三凸起多边形的形状不同的第四凸起多边形的形状。
  • 半导体装置
  • [发明专利]半导体装置及其形成方法-CN202011183633.2在审
  • 石韩松;闵忠基;黄昌善;金奇奂;林钟欣 - 三星电子株式会社
  • 2020-10-29 - 2021-05-11 - H01L27/11582
  • 提供了半导体装置及其形成方法。该方法可包括形成层叠结构,该层叠结构可包括层叠区域和阶梯区域并且可包括交替地层叠的第一层和第二层。第二层可在阶梯区域中具有阶梯形状,并且阶梯区域可包括至少一个平坦区域和至少一个倾斜阶梯区域。该方法还可包括形成覆盖层叠结构的封盖绝缘层。该封盖绝缘层可包括具有第一上表面的第一封盖区域以及具有在比第一上表面低的水平处的第二上表面的第二封盖区域。该方法还可包括将封盖绝缘层图案化以形成多个突起,然后将封盖绝缘层平坦化,多个突起中的至少一个与阶梯区域交叠。
  • 半导体装置及其形成方法
  • [发明专利]半导体器件-CN202010401894.0在审
  • 张星旭;金奇奂;郑秀珍;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2020-05-13 - 2020-11-27 - H01L29/78
  • 一种半导体器件包括:在衬底上在第一方向上延伸的有源区,该有源区具有上表面和侧壁;多个沟道层,其在有源区上方以彼此竖直间隔开;栅电极,其在第二方向上延伸以与有源区交叉并部分地围绕所述多个沟道层;以及源极/漏极区,其在有源区上在栅电极的至少一侧并与所述多个沟道层接触,并且从有源区的侧壁延伸,并且在与所述多个沟道层当中与有源区相邻的最下沟道层相邻的第一区域中在第二方向上具有大宽度。
  • 半导体器件
  • [发明专利]半导体器件-CN202010200281.0在审
  • 郑秀珍;金奇奂;张星旭;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2020-03-20 - 2020-11-17 - H01L29/78
  • 提供了一种半导体器件,所述半导体器件包括:位于衬底上的有源图案,所述有源图案包括凹槽,所述凹槽具有“V”形;位于所述凹槽上的生长阻止图案;位于所述有源图案的在所述凹槽的相对侧的部分上的栅极结构;在垂直于所述衬底的上表面的竖直方向上彼此间隔开的沟道,每个所述沟道延伸穿过所述栅极结构之一;以及位于所述生长阻止图案上的源/漏层,所述源/漏层接触所述沟道。
  • 半导体器件
  • [发明专利]半导体器件-CN201611093812.0有效
  • 金奇奂;朴起宽;刘庭均;申东石;崔炫烈 - 三星电子株式会社
  • 2016-12-01 - 2020-10-13 - H01L29/08
  • 本发明提供一种半导体器件。该半导体器件包括:包含第一区域和第二区域的基板;在第一区域中的第一和第二栅电极,在基板上彼此平行地形成并且彼此间隔开第一距离;在第二区域中的第三和第四栅电极,在基板上彼此平行地形成并且彼此间隔开大于第一距离的第二距离;在第一区域中形成在基板上在第一和第二栅电极之间的第一凹槽;在第二区域中形成在基板上在第三和第四栅电极之间的第二凹槽;填充第一凹槽的第一外延源极/漏极;以及填充第二凹槽的第二外延源极/漏极,其中第一外延源极/漏极的上表面的最高部分高于第二外延源极/漏极的上表面的最高部分。
  • 半导体器件
  • [发明专利]半导体器件-CN202010014972.1在审
  • 张星旭;曹荣大;金奇奂;郑秀珍 - 三星电子株式会社
  • 2020-01-07 - 2020-07-14 - H01L29/78
  • 半导体器件包括:有源区,其在衬底上在第一方向上延伸;沟道层,其位于有源区上并竖直地间隔开;栅极结构,其与有源区和沟道层交叉,栅极结构在第二方向上延伸并围绕沟道层;以及源/漏区,其位于栅极结构的一侧的有源区上,源/漏区接触沟道层,源/漏区包括第一外延层和第二外延层,第一外延层具有第一成分并包括第一层和第二层,所述第一层位于沟道层的侧表面上,所述第二层位于源/漏区的下端的有源区上,第二外延层具有与第一成分不同的第二成分,第二外延层在第一方向上位于第一外延层之间,并在第三方向上竖直地位于第一外延层之间。
  • 半导体器件
  • [发明专利]半导体器件-CN202010016458.1在审
  • 张星旭;金奇奂;郑秀珍;金奉秀;曹荣大 - 三星电子株式会社
  • 2020-01-07 - 2020-07-14 - H01L29/78
  • 一种半导体器件包括:衬底上沿第一方向延伸的有源区;衬底上与有源区相交并沿第二方向延伸的栅结构;以及在栅结构的至少一侧的有源区上的源/漏区,其中源/漏区包括:在第一方向上彼此间隔开的多个第一外延层,该多个第一外延层包括第一导电类型的第一杂质;以及填充该多个第一外延层之间的空间的第二外延层,第二外延层包括第一导电类型的第二杂质。
  • 半导体器件

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