专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果47个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]有机膜形成用组成物、图案形成方法、及化合物-CN202310197024.X在审
  • 郡大佑;岩森颂平 - 信越化学工业株式会社
  • 2023-03-03 - 2023-09-05 - C07C13/62
  • 本发明涉及有机膜形成用组成物、图案形成方法、及化合物。本发明提供能展现高蚀刻耐性、优良的扭转耐性、成膜性,且成为散逸气体的升华物成分少的有机膜形成用组成物、使用了此组成物的图案形成方法、及适合如此的有机膜形成用组成物的化合物。一种有机膜形成用组成物,含有下列通式(1)表示的化合物及有机溶剂。上述通式(1)中,X为下列通式(2)、(3)、(5)表示的X1~X3中的任一基团,亦可将2种以上的X予以组合使用。上述通式(3)中,W表示碳原子或氮原子,n1表示0或1、n2表示1~3的整数,R1独立地为下列通式(4)表示的任意的基团。上述通式(5)中,R2为氢原子或碳数1~4的烷基,R3为下列任意的基团。
  • 有机形成组成图案方法化合物
  • [发明专利]有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物-CN202211211942.5在审
  • 郡大佑;小林直贵;山本靖之 - 信越化学工业株式会社
  • 2022-09-30 - 2023-04-14 - G03F7/004
  • 本发明涉及有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物。本发明的目的是提供一种化合物,能形成不仅耐热性、形成于基板的图案的填埋、平坦化特性优良,且对于基板的成膜性、密接性良好的有机下层膜,并提供含有该化合物的有机膜形成材料。本发明的解决手段是一种有机膜形成材料,其特征在于含有下述通式(1)表示的化合物及有机溶剂。该通式(1)中,R1是下述式(2)的任一者,R2表示硝基、卤素原子、羟基、烷基氧基、炔基氧基、烯基氧基、直链状、分支状、或环状的烷基、三氟甲基、三氟甲基氧基;n表示0或1,m表示1~3的整数,p表示0或1,l表示0~2的整数;W是碳数2~40的2价有机基团。
  • 有机形成材料图案方法以及化合物
  • [发明专利]密合膜形成材料、图案形成方法、及密合膜的形成方法-CN202211156891.0在审
  • 郡大佑;甲斐佑典;中原贵佳;渡部卫 - 信越化学工业株式会社
  • 2022-09-21 - 2023-03-24 - G03F7/11
  • 本发明涉及密合膜形成材料、图案形成方法、及密合膜的形成方法。本发明的课题是目的为提供一种密合膜形成材料,是在半导体装置制造步骤中的利用多层抗蚀剂法所为的微细图案化处理中,能给予具有与抗蚀剂上层膜的高密合性,具有抑制微细图案的崩塌的效果,且能形成良好的图案形状的密合膜的密合膜形成材料;并提供使用了该材料的图案形成方法、及上述密合膜的形成方法。本发明的解决手段是一种密合膜形成材料,是形成于含硅中间膜与抗蚀剂上层膜之间的密合膜的密合膜形成材料,其特征在于,含有:(A)具有下述通式(1)及下述通式(2)表示的结构单元的树脂、(B)热酸产生剂、及(C)有机溶剂。
  • 密合膜形成材料图案方法
  • [发明专利]有机膜形成用组合物-CN201810863232.8有效
  • 橘诚一郎;长井洋子;郡大佑;荻原勤 - 信越化学工业株式会社
  • 2018-08-01 - 2022-09-27 - G03F7/004
  • 本发明提供一种可形成有机膜的有机膜形成用组合物,该有机膜能够通过使用不会对半导体装置基板和图案化工序中所必需的有机抗蚀剂下层膜造成损伤的剥离液、例如半导体制程中通常所使用的被称为SC1的含过氧化氢的氨水溶液,容易地与已因干蚀刻而改性的硅成分残渣一并湿式去除。所述有机膜形成用组合物包含高分子化合物与有机溶剂,该高分子化合物具有由下述通式(1)~(4)表示的重复单元中的任意1种以上,在该有机溶剂中,选自丙二醇酯、酮及内酯中的1种以上的合计占超过全部有机溶剂中的30wt%的量。[化学式1]
  • 有机形成组合

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top