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[发明专利]电容检测型超声波换能器及具备其的超声波拍摄装置-CN201780027702.0有效
发明人：竹崎泰一;町田俊太郎;龙崎大介;吉村保广;永田达也;山下尚昭 -专利权人：富士胶片医疗健康株式会社
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： A61B8/14 文献下载
摘要：电容检测型超声波换能器(111A)具备硅基板(101)、形成于硅基板(101)上的绝缘膜(102)、下部电极(103)、绝缘膜(104、106)、由在绝缘膜(106)的一部分所形成的空隙构成的空洞部(105)、上部电极(107)、绝缘膜(108、114)以及保护膜(109)。另外，空洞部(105)的上部的绝缘膜(106)、上部电极(107)、绝缘膜(108)、以及绝缘膜(114)构成振动膜(110)，振动膜(110)的上部的保护膜(109)被分割成隔开固定间隔的间隙(115)而规则性地排列的多个独立图案。
电容检测超声波换能器具备拍摄装置

[发明专利]超声波换能器、超声波换能器的制造方法以及超声波拍摄装置-CN201780021776.3有效
发明人：长谷川浩章;町田俊太郎;竹崎泰一;龙崎大介 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2017-07-07 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：超声波换能器具有空洞部(110)和隔膜(120)，空洞部(110)形成于被基板(101)上的下部电极(103)和上部电极(107)夹着的绝缘膜(104)、(106)之间，隔膜(120)由空洞部(110)的上方的绝缘膜(106、108、111、112)及上部电极(107)构成，并且在发送/接收超声波时振动。另外，空洞部(110)在将中心部的厚度设为h1且将外周部的厚度设为h2时，具有满足h1＞h2＞0的关系的截面形状。
超声波换能器制造方法以及拍摄装置

[发明专利]超声波换能器阵列以及超声波探测器-CN201910223100.3在审
发明人：长谷川浩章;今川健吾;町田俊太郎;竹崎泰一 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种超声波换能器阵列以及超声波探测器，提高具备多个具有作为在上部电极以及下部电极之间具有间隙的CMUT的单元的电容器的超声波换能器阵列的性能。将电连接于作为搭载于芯片的CMUT的单元的电容器(C2)、根据多个排列的波道数量将作为保护增幅电路的(DC)部件用电容器使用的电容器(C1)形成于该芯片内。电容器(C1)是不会音频性地振动的静电容量元件。
超声波换能器阵列以及探测器

[发明专利]超声波换能器及超声波检查装置-CN201680038034.7有效
发明人： 町田俊太郎;峰利之;藤崎耕司;竹崎泰一;龙崎大介 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。
超声波换能器检查装置

[发明专利]静电容量式传感器以及超声波摄像装置-CN201310065801.1有效
发明人：池田贞一郎;田中宏树;町田俊太郎 -专利权人：株式会社日立制作所;株式会社日立医药
申请日： 2008-01-23 - 公布日： 2013-10-16 - 主分类号： B06B1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电容量式传感器以及超声波摄像装置。对cMUT元件阵列赋予均一并且稳定的特性，实现声学特性的提高。在元件（102）中追加设置用于切断元件的移位、振动以及信号收发的信号切断部，该元件（102）位于作为能够进行通常的收发的传感器而被设计并制造的、cMUT元件的二维阵列（101）的最外周部或端部的位置。
静电容量传感器以及超声波摄像装置

[发明专利]超声波转换器以及使用其的超声波诊断装置-CN201180048454.0有效
发明人：竹崎泰一;町田俊太郎 -专利权人：株式会社日立医疗器械
申请日： 2011-10-13 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容检测型超声波转换器(C M U T)，其实现高发送声压和高接收灵敏度，且使长期驱动下的可靠性提高。其具备：下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部电极(205)、形成在所述空洞部(202)内的多个绝缘膜的突起(204)，其中，具备在所述空洞部上形成的多个刚性部件(203)，所述下部电极(201)和所述上部电极(205)之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起(204)重合的部分进行挖空，从而配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起(204)重合的位置上，各个所述刚性部件(203)被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起(204)重合的区域。
超声波转换器以及使用诊断装置

[发明专利]超声波探头及超声波摄像装置-CN201080033159.3有效
发明人：田中宏树;町田俊太郎 -专利权人：株式会社日立医疗器械
申请日： 2010-08-11 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种超声波探头及超声波摄像装置，可降低因在静电电容式微型超声波换能器的微囊形状具有各向异性时产生的高次振动模式引起的不必要的响应。在将构成静电电容式微型超声波换能器的振动膜的长的方向(l)和短的方向(w)之比设为代表纵横比(l/w)的情况下，将代表纵横比设定成使在探头的收发频带宽度内不形成6dB以上的下降(dip)的值。或者，将代表纵横比的值设定成使存在奇数个腹部数的振动模式的频率除以基本模式频率后而得到的值为2以下的振动模式的数目有6个以上的值。
超声波探头摄像装置

[发明专利]超声波换能器及利用该超声波换能器的超声波诊断装置-CN201080022255.8有效
发明人： 町田俊太郎;小林孝 -专利权人：株式会社日立医疗器械
申请日： 2010-05-21 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具备优选的突起配置结构的超声波换能器及利用该超声波换能器的超声波诊断装置。该超声波换能器具备：第一电极；形成于该第一电极上的下部绝缘膜；被设置为在该下部绝缘膜上形成空洞部的上部绝缘膜；和形成于该上部绝缘膜上的第二电极，其特征在于，在所述下部绝缘膜或所述上部绝缘膜上，在所述空洞部侧形成突起，在相当于形成所述突起的位置的所述第一电极或第二电极上形成有开口部。由此，在为了抑制薄膜下表面与空洞部下表面接触所引起的电荷向绝缘膜注入而配置向空洞部突出的绝缘膜的突起的情况下，可以抑制CMUT的驱动电压的上升、接收灵敏度的降低。
超声波换能器利用诊断装置

[发明专利]超声波探头的制造方法以及超声波探头-CN201080004562.3无效
发明人：小林孝;町田俊太郎 -专利权人：株式会社日立医疗器械
申请日： 2010-01-06 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： A61B8/00 文献下载
摘要：本发明提供一种超声波探头的制造方法及超声波探头。在形成作为保护膜的聚酰亚胺膜之前，使薄膜反复振动，从而评价上部电极与下部电极之间的绝缘耐压，预先除去因薄膜的反复振动而在上部电极与下部电极之间产生了绝缘耐压降低的不良半导体装置(CMUT)单元的上部电极，切断与其他正常半导体装置单元的电连接，由此在包含修复后的CMUT单元(RC)在内的块(RB)或沟道(RCH)中，防止薄膜的反复振动后的上部电极与下部电极之间的绝缘耐压降低。由此，可以提高半导体装置的制造成品率。
超声波探头制造方法以及

[发明专利]超声波传感器以及超声波摄像装置-CN200880013778.9有效
发明人：池田贞一郎;田中宏树;町田俊太郎 -专利权人：株式会社日立制作所;株式会社日立医药
申请日： 2008-01-23 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：对cMUT元件阵列赋予均一并且稳定的特性，实现声学特性的提高。在元件(102)中追加设置用于切断元件的移位、振动以及信号收发的信号切断部，该元件(102)位于作为能够进行通常的收发的传感器而被设计并制造的、cMUT元件的二维阵列(101)的最外周部或端部的位置。
超声波传感器以及超声波摄像装置

[发明专利]超声波摄像装置-CN200680026787.2无效
发明人：东隆;梅村晋一郎;永田达也;福田宏;町田俊太郎;峰利之 -专利权人：株式会社日立医药
申请日： 2006-01-30 - 公布日： 2008-07-23 - 主分类号： A61B8/00 文献下载
摘要：以隔膜型的电声转换元件(101)为基本单位构成的超声波阵列换能器的接收灵敏度因漏泄等导致的电荷蓄积量的经时变化，主射束灵敏度偏移，导致声音噪声等级的上升引起声音SN比恶化或超声波射束的定向性恶化。故设置电荷蓄积控制部(电荷蓄积监视器(211))，进行电声转换元件(101)中电荷蓄积量的控制。以蓄积电荷监测部(102)监视电荷蓄积量的变化，在电荷蓄积量的变化小时，例如在控制部(104)中通过乘以与变化量对应的修正系数，从而进行送波或受波灵敏度的修正，再有在电荷蓄积量的变化大时，例如也可由蓄积电荷注入部(103)进行电荷的再注入。通过由控制部(104)来控制以上一系列动作，尤其修正多个元件间的经时变化的不同引起的灵敏度偏差。
超声波摄像装置

[发明专利]电声变换元件-CN200610105747.9有效
发明人：东隆;梅村晋一郎;永田达也;福田宏;町田俊太郎;峰利之 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2006-07-21 - 公布日： 2007-03-14 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：提供一种电声变换元件，其特征在于，具有：在基板或者基板中形成的第一电极；以在上述基板上设置的硅或者硅化合物为基体材料的薄膜；在上述薄膜上或者薄膜中形成的第二电极；在上述第一电极和上述第二电极间设置的空隙层；将由上述第一电极和上述第二电极赋予的电荷蓄积的、在上述第一电极和上述第二电极间设置的电荷蓄积层；以及用来测量在上述电荷蓄积层中蓄积的电荷量的源电极和漏电极。由此可以减小半导体振膜型电声变换元件中因泄漏等引起的电荷蓄积量和电声变换效率的变化，防止以该电声变换元件为基本单位构成的超声波阵列变换器的主束灵敏度的漂移和声音SN比与超声波束指向性的劣化。
电声变换元件

[发明专利]电声转换元件、阵列型超声波转换器以及超声波诊断装置-CN200610002116.4有效
发明人：梅村晋一郎;东隆;永田达也;福田宏;峰利之;町田俊太郎 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2006-01-16 - 公布日： 2006-12-27 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于在使膜片型电声转换元件的电声转换特性稳定的同时，降低使用该电声转换元件构成的超声波诊断装置的噪音级。由在硅底板(1)上所形成的下部电极(2)和在其上部夹持空隙部(4)的上部电极(6)形成的电容器单元(8)构成电声转换元件(9)，使用电气时间常数比1秒短且比10微秒长的材料，例如在化学计量方面过多包含硅的氮化硅形成在上部电极(6)的空隙部(4)一侧形成的电极短路防止膜(5)。其结果，电极短路防止膜(5)因为变得具有微弱的导电性，所以可以防止向电极短路防止膜(5)的带电或其漂移。其结果，电声转换元件(9)的电声转换特性稳定，而且超声波诊断装置的音响噪音级降低。
电声转换元件阵列超声波转换器以及诊断装置

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