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- [发明专利]防护膜组件-CN201380037728.5有效
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近藤正浩;津本高政
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三井化学株式会社
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2013-07-31
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2019-01-18
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G03F1/64
- 本发明的目的在于提供一种防护膜组件,其于防护膜框架的内侧面具有粘着层,该粘着层具有可使尘埃等悬浮物良好地粘固的保持性能、及对短波长光的优异耐光性。本发明的防护膜组件包括:防护膜框架、铺设于上述防护膜框架上的防护膜、及设置于上述防护膜框架的内侧的粘着层,上述粘着层包含相对于上述粘着层为60质量%以上的共聚物,所述共聚物具有下述式(1)所表示的结构单元及下述式(2)所表示的结构单元。‑CH2CF2‑ …(1)‑CF2CF(CF3)‑ …(2)
- 防护组件
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