专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]含有氟代烃的混合物的组合物及其制造方法-CN201680010685.5有效
  • 板野充司;黒木眸;土屋立美;山田康夫 - 大金工业株式会社
  • 2016-01-22 - 2020-06-23 - C09K5/04
  • 本发明提供一种致冷剂和致冷剂组合物,其作为R404A的替代致冷剂,与R404A相比,具有同等的不燃性、能够替代的冷冻能力等,冷冻循环中消耗的动力与冷冻能力之比(性能系数(COP))在同等以上,并且GWP小。具体而言,本发明提供一种组合物,其含有氟代烃的混合物,上述混合物所含的氟代烃的组成比具有在将二氟甲烷(R32)、五氟乙烷(R125)和1,1,1,2‑四氟乙烷(R134a)的浓度的总和设为100重量%的三成分组成图中以点A(R32/R125/R134a=37.3/17.0/45.7重量%)、点F(R32/R125/R134a=30.7/10.9/58.4重量%)和点G(R32/R125/R134a=29.4/14.1/56.5重量%)这3个点为顶点的三角形的范围内所包括的组成比。
  • 含有氟代烃混合物组合及其制造方法
  • [发明专利]蚀刻液-CN200880011921.0有效
  • 板野充司;中村新吾;毛塚健彦;渡边大祐 - 大金工业株式会社
  • 2008-04-08 - 2010-02-24 - H01L21/308
  • 本发明提供伴随药液蒸发等的组成变化少、药液更换频度少,而且经时的蚀刻速率变化也少,能够均匀蚀刻硅氧化膜的蚀刻液。具体地涉及含有氢氟酸(a)、氟化铵(b)以及氟化氢与沸点比氨高的碱的盐(c)的蚀刻液,氟化铵(b)的浓度为8.2mol/kg以下,氟化铵(b)和氟化氢与沸点比氨高的碱的盐(c)的合计为9.5mol/kg以上,还涉及该蚀刻液的制造方法以及使用该蚀刻液的蚀刻方法。
  • 蚀刻
  • [发明专利]具有BPSG膜和SOD膜的基板的蚀刻液-CN200680017912.3有效
  • 板野充司;渡边大祐 - 大金工业株式会社
  • 2006-05-24 - 2008-05-14 - H01L21/306
  • 本发明提供利用等速度或接近其的速度对由低温化处理制造的超微细器件的无退火的BPSG膜和热氧化膜以及无退火的SOD膜和热氧化膜进行蚀刻的蚀刻液、蚀刻方法和蚀刻处理物。具体地提供一种蚀刻液,其含有选自氟化物盐和二氟化物盐中的至少一种盐,和具有杂原子的有机溶剂,对热氧化膜(THOX)、无退火的BPSG(硼磷玻璃)膜、无退火的SOD(旋转涂布介电质)膜的蚀刻速率在23℃均为100/分钟以下,并且,无退火的BPSG膜的蚀刻速率/热氧化膜氧化膜的蚀刻速率的比值以及无退火的SOD膜的蚀刻速率/热氧化膜的蚀刻速率的比值均为3以下。
  • 具有bpsgsod蚀刻
  • [发明专利]腐蚀用或洗涤用溶液的制造方法-CN200480006797.0无效
  • 陶山诚;毛塚健彦;板野充司 - 大金工业株式会社
  • 2004-03-10 - 2006-04-12 - H01L21/306
  • 腐蚀用或洗涤用溶液的制造方法,所述溶液的特征在于,其含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种和氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种;(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种;以及(3)水,所述方法包括:工序1,将氢氟酸水溶液和具有杂原子的有机溶剂中的至少一种混合;和工序2,将工序1得到的混合物和选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐混合。
  • 腐蚀洗涤溶液制造方法

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