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[实用新型]一种玻璃载板TTV的循环改善装置-CN202223251873.9有效
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：熠铎科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及玻璃载板生产技术领域，具体公开一种玻璃载板TTV的循环改善装置，循环改善装置包括用于循环蚀刻玻璃载板的处理箱；安装件固定安装在处理箱内，用于调节对玻璃载板的夹持范围；调节件设置在安装件上，用于驱动玻璃载板转动；支撑件固定安装在调节件上，用于支撑固定玻璃载板。本实用新型循环改善装置，利用两个支撑件的托杆对多片玻璃载板进行支撑，设计限位夹辊对玻璃载板进行卡合固定，玻璃载板安装和拆卸方便，且同时可承载多片玻璃载板，加快加工效率，蚀刻药液可循环使用，自动过滤，去除杂质，设置调节件移动，带动托杆移动，调节托杆之间的距离，便于固定不同尺寸的玻璃载板。
一种玻璃 ttv 循环改善装置

[发明专利]一种玻璃载板TTV的循环改善装置-CN202211547956.4在审
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：熠铎科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明涉及玻璃载板生产技术领域，具体公开一种玻璃载板TTV的循环改善装置，循环改善装置包括用于循环蚀刻玻璃载板的处理箱；安装件固定安装在处理箱内，用于调节对玻璃载板的夹持范围；调节件设置在安装件上，用于驱动玻璃载板转动；支撑件固定安装在调节件上，用于支撑固定玻璃载板。本发明循环改善装置，利用两个支撑件的托杆对多片玻璃载板进行支撑，设计限位夹辊对玻璃载板进行卡合固定，玻璃载板安装和拆卸方便，且同时可承载多片玻璃载板，加快加工效率，蚀刻药液可循环使用，自动过滤，去除杂质，设置调节件移动，带动托杆移动，调节托杆之间的距离，便于固定不同尺寸的玻璃载板。
一种玻璃 ttv 循环改善装置

[发明专利]一种改善玻璃载板TTV的装置-CN202211536647.7在审
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：熠铎科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明涉及玻璃载板生产技术领域，具体是一种改善玻璃载板TTV的装置，装置包括设备台，设备台上阵列设置有可转动的夹持件，用于固定和转动玻璃载板，夹持件上阵列设有用于喷出蚀刻药液的喷头，夹持件设置在矩形框上，矩形框的下方设有过滤件，过滤件与设备台转动连接，用于对蚀刻后的药液进行过滤。本发明装置，对玻璃载板进行消除TTV操作，利用可调节的夹持件，对玻璃载板进行夹持，转动夹持件同时带动玻璃载板转动，喷淋蚀刻药液，对玻璃载板进行蚀刻，消除表面TTV现象，同时调节打磨轮，对玻璃载板进行打磨抛光处理，通过对玻璃载板进行打磨和蚀刻，得到表面光滑的玻璃载板，蚀刻废液中的杂质被锥形斗过滤收集后，蚀刻药剂可回收使用。
一种改善玻璃 ttv 装置

[实用新型]一种改善玻璃载板TTV的装置-CN202223239504.8有效
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：熠铎科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及玻璃载板生产技术领域，具体是一种改善玻璃载板TTV的装置，装置包括设备台，设备台上阵列设置有可转动的夹持件，用于固定和转动玻璃载板，夹持件上阵列设有用于喷出蚀刻药液的喷头，夹持件设置在矩形框上，矩形框的下方设有过滤件，过滤件与设备台转动连接，用于对蚀刻后的药液进行过滤。本实用新型装置，对玻璃载板进行消除TTV操作，利用可调节的夹持件，对玻璃载板进行夹持，转动夹持件同时带动玻璃载板转动，喷淋蚀刻药液，对玻璃载板进行蚀刻，消除表面TTV现象，同时调节打磨轮，对玻璃载板进行打磨抛光处理，通过对玻璃载板进行打磨和蚀刻，得到表面光滑的玻璃载板，蚀刻废液中的杂质被锥形斗过滤收集后，回收蚀刻药液。
一种改善玻璃 ttv 装置

[发明专利]一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置及方法-CN202210167562.X在审
发明人：李华;李居知;周旭 -专利权人：苏州轩创科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置及方法，属于玻璃与硅片加工处理技术领域，包括伺服电机，伺服电机电性连接有PLC控制器，伺服电机的输出端上设有主轴，主轴上连接有第一传动机构，第一传动机构上通过连接块连接有第二传动机构，第二传动机构的侧端设有外框架，外框架上通过第一旋转轴连接有产品夹持机构，产品夹持机构的另一端通过第二旋转轴与第二传动机构连接；本发明结构简单，通过产品夹持机构对产品进行固定，避免产品在翻转的时候发生位移，同时为了使得酸液均匀分布，在药液性质无法改变的前提下，通过不断改变产品的位置，弥补药液浓度分布不均匀的缺陷，可使药液均匀分布在产品表面，从而对产品进行腐蚀处理。
一种改善玻璃硅片腐蚀均匀装置方法

[发明专利]一种CIS玻璃罩的制作方法-CN202210167563.4在审
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：苏州轩创科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明公开一种CIS玻璃罩的制作方法，涉及CIS晶圆加工领域，具体包括S1、激光扫描：用激光发射器发射飞秒激光，在玻璃表面扫描出图形轮廓；S2、药水腐蚀：用药水按照轮廓腐蚀处对应的图形；S3、灌胶：在药水腐蚀后的图形内灌入高透光性胶水；S4、晶圆贴合：将晶圆沿着胶水贴合于玻璃表面；本发明使用激光工艺，替代传统的曝光显影工艺，先通过激光对玻璃表面进行扫描，在扫描到所需图形后，在图形表面用药水进行腐蚀，然后涂胶，贴合晶圆，大大降低了工艺难度，提升了良品率。
一种 cis 玻璃罩制作方法

[发明专利]一种CIS玻璃罩的减薄方法-CN202210168379.1在审
发明人： 李居知;周旭;李华 -专利权人：苏州轩创科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开一种CIS玻璃罩的减薄方法，包括以下步骤：S1、采用厚度大于500um的玻璃载板完成CIS晶圆的前段制程，然后于CIS晶圆的晶圆面涂布黏着剂，再将硅载板与晶圆面键合；S2、翻转CIS晶圆使玻璃面朝上，将玻璃面减薄到目标厚度；S3、将完成玻璃面的CIS晶圆翻转使硅载板一侧朝上，然后将玻璃面贴附在切割模框上，解键合移除晶圆面的硅载板；S4、完成后续的CIS晶圆切割即可。本发明在CIS晶圆的切割前通过晶圆面键合硅片载板进行支撑和保护，为玻璃面减薄提供应力缓冲，有效避免了玻璃面减薄时的裂片风险，同时克服了先减薄玻璃载板再进行Wafer贴合的玻璃翘曲问题。
一种 cis 玻璃罩方法

[发明专利]一种CIS玻璃罩的减薄方法-CN202210168385.7在审
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：苏州轩创科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明涉及CIS晶圆加工领域，具体的是一种CIS玻璃罩的减薄方法，S1、在CIS玻璃罩的一侧通过粘着剂键合玻璃载板，通过蚀刻保护胶对CIS玻璃罩和玻璃载板进行保护，露出CIS玻璃罩的待减薄一侧；S2、通过含氟电浆蚀刻CIS玻璃罩使其减薄并去除蚀刻保护胶，得到超薄CIS玻璃罩；S3、在超薄CIS玻璃罩表面进行CV制程；S4、完成CV制程后，键合CIS晶圆正面并对CIS晶圆背面进行减薄，完成正常封装流程；S5、将超薄CIS玻璃罩和玻璃载板进行解键合，去除玻璃载板。本发明在工作过程中超薄玻璃与玻璃载板能够暂时性贴合，起到整面性保护的目的，避免使用胶带保护，同时，能够有效防止制程中超薄玻璃弯曲，避免造成浪费。
一种 cis 玻璃罩方法

[发明专利]一种应用于BIS的减薄方法-CN202210168386.1在审
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：苏州轩创科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明涉及BIS晶圆加工领域，具体的是一种应用于BIS的减薄方法，S1、BIS晶片研磨；S2、使用精密吹气管在BIS晶片周围产生气障；S3、使用多组精密氢氟酸喷洒装置对BIS晶片进行喷洒。本发明在工作过程中使用精密吹气管在BIS晶片周围产生的气障用于保护需要保留的部分，然后在BIS晶片需要去除的位置使用多组精密氢氟酸喷洒装置对BIS晶片进行喷洒，通过控制喷氢氟酸的喷洒量、时间和范围，来控制减薄效果，不仅降低了整个工艺流程的耗时，提高了生产效率，而且还避免了传统BIS减薄工艺中的二次修整时对BIS晶片边缘形成损伤，影响后续工序。
一种应用于 bis 方法

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