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- [发明专利]薄膜晶体管阵列面板和导电结构-CN201680078671.7有效
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高逸群;林欣桦;施博理;张炜炽;陆一民;吴逸蔚
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鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
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2016-12-07
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2020-11-27
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H01L27/12
- 一种薄膜晶体管阵列面板包括:包括栅极的第一导电层(102);设置在所述栅极上方的沟道层(104)和设置在沟道层(104)上的第二导电层(105)。所述第二导电层(105)包括定义源极(105a)和漏极(105b)的多层部分,其包括依次相继设置的第一子层(105‑1)、第二子层(105‑2)和第三子层(105‑3)。所述第三和所述第一子层(105‑3、105‑1)均包含铟和锌氧化物材料。所述第一子层(105‑1)中的铟与锌的含量比大于所述第三子层(105‑3)中的铟与锌的含量比。所述第一和所述第三子层(105‑1、105‑3)之间的含量比例差异影响形成在所述第二导电层(105)中所述源极和所述漏极(105a、105b)之间的间隙(106)相关的侧面蚀刻轮廓,其中第三子层(105‑3)中的相关间隙(106)宽度比第一子层(105‑1)中的相关间隙(106)宽度宽。
- 薄膜晶体管阵列面板导电结构
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