专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]曝光装置、曝光方法以及物品制造方法-CN201710554192.4在审
  • 川岛春名;大阪昇 - 佳能株式会社
  • 2017-07-10 - 2018-01-23 - G03F7/20
  • 本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品制造方法。提供一种在曝光量的均匀化方面有利的曝光装置。一种曝光装置,在使基板(W)和原版(R)移动的同时针对每个被摄区域对基板(W)进行扫描曝光,所述曝光装置具有整形部(117),对曝光被摄区域的曝光光进行整形;照明部(114),调整曝光光的光量分布;以及控制部(170),控制整形部(117)及照明部(114),控制部(170)控制照明部(114),以使在被摄区域内在非扫描方向上分离的第一区域以及第二区域各自的累计曝光量分布相等,控制整形部(117),以使被摄区域中的扫描方向的累计曝光量均匀。
  • 曝光装置方法以及物品制造

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