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[发明专利]一种测量积冰的传感器及测量方法-CN201110035684.5无效
发明人： 刘清惓 -专利权人： 刘清惓
申请日： 2011-02-10 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种测量积冰的传感器及其测量方法。所述传感器包括两个压电换能器和一个基板。两个压电换能器都在基板上。每个压电换能器都由上电极、下电极和上下电极之间的压电膜构成。两个压电换能器的下电极与基板连接。基板的材料可以是硅，也可以是金属。利用所述传感器测量积冰厚度的方法是，在第一压电换能器的上下电极之间施加交流驱动电压，引起基板和第二换能器的机械振动，测量第二压电换能器的上下电极之间输出的交流电压的幅度，可反映基板上积冰的厚度。该传感器的优势在于可以利用测量交流电压幅度大小的方法测量积冰，在测量积冰厚度时不易受到积水的影响。
一种测量积冰传感器测量方法

[发明专利]横向驱动微机械式可变电容器-CN03131538.0无效
发明人： 刘清惓;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2003-05-23 - 公布日： 2003-11-05 - 主分类号： H01G5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。由于本发明将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之间的交叠面积，使电容的大小发生改变，再由于交叠面积的改变与电容大小的改变为线性关系，故微执行器所产生的位移与电容变化量之间呈线性关系，具有线性度好的优点。
横向驱动微机可变电容器