专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置-CN202221745498.0有效
  • 陈帅;刘文昭;付海超;邹广辉;周勇;吴同川 - 中节能万润股份有限公司
  • 2022-07-06 - 2022-12-02 - G01N33/00
  • 本实用新型涉及用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置,所述的装置包括承载盘、软垫片、压盖和输水泵,所述承载盘的上表面设有通水凹槽,所述软垫片设有通水孔,所述通水孔与所述通水凹槽的上表面形状完全相同,所述软垫片置于所述承载盘的上表面,所述通水孔与所述通水凹槽位置重合,所述软垫片的上表面放置晶圆,晶圆涂有光刻胶的一面与所述软垫片贴合,所述承载盘上设有进水口和出水口,所述通水凹槽的两端分别与所述进水口和出水口相通,所述输水泵通过输水管与所述进水口相通,所述晶圆的上端压合所述压盖。所述的装置结构简单,可以给光刻胶中光酸产生剂浸出量的测定带来极大的便利。
  • 用于光刻胶中光酸产生浸出测定装置

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