专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气体产生量少的薄膜-CN200380103262.0有效
  • 河关孝志;中川广秋 - 三井化学株式会社
  • 2003-11-13 - 2005-12-21 - G03F1/14
  • 提供一种薄膜,通过预先从薄膜本身排除会导致生成析出物的物质,即使是采用KrF或是ArF受激准分子激光来进行曝光,在激光照射时、以及在保管中,也可以防止在光罩上形成异物析出物,能够长时间维持正确的图案精度。在薄膜的制造过程中,通过将所使用的构件或是成品加热或是置于减压下等,以预先除去从所使用的构件或是成品发生的物质。
  • 气体产生薄膜
  • [发明专利]保护胶片及附设保护胶片的光罩的制造方法-CN02146120.1无效
  • 藤田稔;中川广秋 - 三井化学股份有限公司
  • 2002-10-29 - 2003-05-07 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种可以减少检查次数,并且于光罩贴上保护胶片后,能够将保护胶片予以剥离而再次使用的保护胶片及附设保护胶片的光罩的制造方法。依本发明,于保护胶片框10一边的端面11张设保护胶片膜12,于另一边的端面13设置黏接层14,使主衬片21的一部分23露出副衬片22的外面而被叠设,副衬片22直接贴附于黏接层14的同时,主衬片21的一部分23也露出副衬片22的外面,直接贴附于黏接层14。保护胶片1黏贴于光罩之际,剥离主衬片21而将保护胶片1暂时黏贴于光罩,于该状态下进行检查,若检查合格则剥离副衬片22而予以真正黏贴。若检查不合格则自光罩上将保护胶片1剥离并予以再利用。
  • 保护胶片附设制造方法
  • [发明专利]薄膜-CN01144608.0有效
  • 津本高政;仓田洋行;中川广秋;藤田稔 - 三井化学株式会社
  • 2001-12-20 - 2002-07-31 - H01L21/027
  • 本发明提供一种薄膜,其在将薄膜安装于掩模时,不会损伤掩模,并且不仅在掩模和薄膜被膜的平面保持在水平方向时,在保持垂直方向时也可以保持掩模的平面性(平直度)。由薄膜被膜,支持薄膜被膜的薄膜框架和将薄膜安装在掩模上的树脂层形成的薄膜,其特征在于,该树脂层是由硬质树脂形成的层和软质树脂形成的层组合而形成的。
  • 薄膜

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