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- [发明专利]一种用于CDS原液桶的氮封装置-CN202210250151.7有效
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朱锈杰
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-14
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2023-08-01
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B65D81/20
- 本发明公开一种用于CDS原液桶的氮封装置，涉及氮封领域。包括桶体，所述桶体的顶端固定连接有工作电机，所述工作电机的输出端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹滑块，通过设置有第一密封板和第二密封板，螺纹杆转动通过螺纹滑块带动导向柱滑动，进而使导向柱滑动通过导向滑槽带动连接旋板转动，以使得连接旋板转动通过第一孔板带动与第一滑块固定连接的第一密封板沿进气口滑动，实现对进气口与桶体的开合操作，同时，连接旋板转动通过第二孔板带动与第二滑块固定连接的第二密封板沿出气腔体的内壁滑动，实现出气口与桶体的开合操作，便于实现对箱体中的氮气自动注入和排放操作。
- 一种用于cds原液装置
- [发明专利]一种CDS气动阀气管连接结构-CN202210250140.9有效
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罗保兴
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-14
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2023-06-06
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F16L37/23
- 本发明公开一种CDS气动阀气管连接结构，涉及气动阀气管连接结构领域。包括连接缸筒，所述连接缸筒的内壁固定连接有斜条环，所述斜条环的外壁位于连接缸筒的外部固定连接有自锁框架，所述自锁框架的外壁贯穿有推杆，所述推杆一端位于自锁框架的外部固定连接有推块，所述自锁框架与推杆的连接部位开设有限位槽，通过设置有自锁球和斜条环，自锁弹簧通过弹力带动自锁缸筒滑动，进而使自锁缸筒滑动带动斜缸筒同步滑动，斜缸筒滑动带动六组自锁球分别与斜条环的表面与自锁卡槽的外壁相贴合，以使得六组自锁球通过自锁卡槽和斜条环与滑动缸筒之间构成自锁结构，实现对连接气管的自动自锁操作。
- 一种cds气动阀气管连接结构
- [发明专利]一种SDS研磨液调和槽360度清洗结构-CN202210201153.7有效
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钟贵平
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-02
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2023-04-28
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B08B1/04
- 本发明提供一种SDS研磨液调和槽360度清洗结构，涉及XX技术领域。该SDS研磨液调和槽360度清洗结构，包括把手，把手的下方设置有安装座、连接柱和连接座，连接座的底部安装有清洗机构，清洗机构包括连接筒，连接筒内部开设有多个定位槽，连接筒的外侧等距均匀的设置有多个刷毛组件，清洗机构的底部设置有冲洗机构，连接座的底部固定连接有延伸管且延伸管活动套设在导流管的内部。该SDS研磨液调和槽360度清洗结构，通过多个电动伸缩柱带动导流管、卡条块和连接筒进行转动，从而形成在通过分流头和高压喷头进行全方位喷射清洗的同时，也会驱动连接筒和多个刷毛组件进行转动，形成毛刷清洁工具，配合清洁工具，一同进行清洗工作。
- 一种sds研磨调和360清洗结构
- [实用新型]一种研磨液回收利用设备-CN202320022367.8有效
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罗保兴
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上海吉啸电子科技有限公司
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2023-01-05
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2023-04-14
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B01D29/03
- 本实用新型公开一种研磨液回收利用设备，涉及研磨液回收领域。该研磨液回收利用设备包括循环供应罐顶板，所述循环供应罐顶板上固定连接有承载台，所述承载台的内部活动卡接有研磨液过滤盒。该研磨液回收利用设备在进行使用时，设置的承载台实现对研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩的安装限位，通过防护罩来实现对研磨液过滤盒和过滤网的防护，避免外界异物进入，另外，设置的锁紧机构使得研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩拆装方便，因此对装置清理方便，而且固定时保持固定稳定，满足使用需求。
- 一种研磨回收利用设备
- [实用新型]一种机械研磨设备防护装置-CN202320034444.1有效
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钟贵平
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上海吉啸电子科技有限公司
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2023-01-05
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2023-04-07
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B24B37/34
- 本实用新型公开一种机械研磨设备防护装置，涉及研磨设备领域。该机械研磨设备防护装置包括研磨设备台，所述研磨设备台的顶部设有台面板，所述台面板的顶部设有研磨设备主体，所述台面板的顶部设有防护装置。该机械研磨设备防护装置在进行使用时，利用设置的防护装置能够实现对研磨设备主体研磨过程进行防护，其产生的烟尘和雾气通过防护罩阻挡，并通过过滤盒和排风管进行排出，利用滤网主体实现进行过滤，另外，防护罩受到立柱的支撑限位，利用限位机构的设置，实现对防护罩的位置调整方便快捷，从而保证对研磨设备主体的防护操作方便，从而减少设备对现场人员的伤害。
- 一种机械研磨设备防护装置
- [发明专利]一种研磨液半自动供液装置-CN202210228111.2在审
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朱锈杰
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-08
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2022-06-07
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B65D90/48
- 本发明提供一种研磨液半自动供液装置，涉及研磨液技术领域。该研磨液半自动供液装置，包括供液桶本体，供液桶本体内侧顶部设有添加警示机构，添加警示机构包括活动圆板和光栅壳体，活动圆板位于供液桶本体内侧顶部，供液桶本体内侧顶部表面开设有环形竖槽，活动圆板与环形竖槽滑动连接，环形竖槽顶部一侧设有滑动竖槽，滑动竖槽内侧设有滑动竖块。该研磨液半自动供液装置结构简单合理，便于快速知道研磨液原液添加满的情况，提升了该供液装置的实用性，避免了现有的研磨液半自动供液装置无法自动感知原液的添加满时的情况，而当原液添加过多时，极易造成供液桶盛液过负荷而影响供液装置的安全，降低了供液装置安全性的问题。
- 一种研磨半自动装置
- [发明专利]一种CDS原液桶空桶报警装置-CN202210201096.2在审
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钟贵平
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-02
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2022-06-03
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G08B21/18
- 本发明提供一种CDS原液桶空桶报警装置，涉及CDS供液技术领域。该CDS原液桶空桶报警装置，包括原液桶本体，原液桶本体底部内侧设有活动桶，活动桶与原液桶本体内侧底部滑动连接，活动桶底部设有限位报警机构，限位报警机构包括缓冲弹簧和环形挡板，缓冲弹簧位于活动桶底部且与活动桶固定连接，原液桶本体底部内侧表面开设有滑动环槽。该CDS原液桶空桶报警装置，有利于在原液桶空桶之后直接进行报警以提醒工作人员原液桶处于空桶状态，提升了该CDS原液桶空桶报警装置的实用性，避免了现有的CDS供液系统原液桶无法精准确定原液桶内刻蚀液的含量，缺乏准确的报警装置，易产生偏差，影响原液桶继续进行供液，无法满足原液桶实际使用需求的问题。
- 一种cds原液桶空桶报警装置
- [发明专利]一种SDS原液供应桶液位监测装置-CN202210227616.7在审
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朱锈杰
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-08
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2022-06-03
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G01F23/02
- 本发明提供一种SDS原液供应桶液位监测装置，涉及液位测量技术领域。该SDS原液供应桶液位监测装置，包括原液筒，原液筒的一侧设置有连通管，连通管通过连接部与原液筒固定连接，原液筒的内部设置有导向柱和活动盘，原液筒的内壁上开设有多个安装槽，安装槽内部设置有感应组件。该SDS原液供应桶液位监测装置，由于在连通管的一侧设置有观测区，并且连通管的底部通过连接部与原液筒的内部相通，即通过“U”型管原理，原液筒内部的液面与连通管内部的液面是相持平的，而在观测区上设置有刻度线，并且通过观测区可清楚地知晓原液筒内部原液液面所处的具体位置，同时在通过观测区上的刻度线，可以直接观测到原液的剩余量。
- 一种sds原液供应桶液位监测装置
- [发明专利]一种CDS管路用过滤器安装结构-CN202210250157.4在审
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钟贵平
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-14
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2022-05-24
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B01D29/64
- 本发明公开一种CDS管路用过滤器安装结构，涉及过滤器安装结构领域。包括框架主体，所述框架主体的内壁固定连接有连接管，所述连接管远离框架主体的一端外壁固定连接有第一密封圈，所述第一密封圈远离连接管的一侧外壁嵌套有第二密封圈，通过设置有三组开槽限位杆，当过滤器使用完毕时，拉动连接圈外壁的把手，以使的开槽限位杆沿限位球外壁滑动，在连接板的和限位栓固定下，以及第一弹簧收缩，同时开槽限位杆与CDS管道分离，接着拉动另外两组把手，以使的另外两组开槽限位杆与CDS管道分离，接着，拉动CDS管道，以使得第二密封圈与第一密封圈分离，拉出CDS管道，实现了CDS管道的过滤器便捷拆卸的目的。
- 一种cds管路过滤器安装结构
- [发明专利]一种SDS研磨液调和槽自动搅拌结构-CN202210201085.4在审
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罗保兴
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上海吉啸电子科技有限公司
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2022-03-02
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2022-05-06
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B01F27/95
- 本发明提供一种SDS研磨液调和槽自动搅拌结构，涉及SDS研磨液制备技术领域。该SDS研磨液调和槽自动搅拌结构，包括筒体，筒体的顶部固定连接有盖体，盖体的底部固定连接有导向盘，筒体的内部设置有搅拌组件，所述搅拌组件包括固定盘，所述固定盘的外侧等距均匀的固定连接有多个驱动杆。该SDS研磨液调和槽自动搅拌结构，本发明中由多个驱动杆带动搅拌页对筒体内部形成均匀的搅拌，使得SDS粉末可以快速地在原液中溶解，同时由于搅拌页顶部是与导向轴固定连接，在驱动杆转动时候，导向轴会发生自转，即形成搅拌页进行转动的同时，由导向轴带动其进行自转，进一步提高了筒体内部的搅拌效果，使得SDS粉末在原液中进行快速溶解。
- 一种sds研磨调和自动搅拌结构
- [实用新型]一种流体化学品智能供应系统-CN202021388884.X有效
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罗保兴
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上海吉啸电子科技有限公司
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2020-07-15
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2021-06-25
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F17D1/02
- 本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元；操控屏是设置运行参数和系统的人机交互界面；控制管路用于液体化学品的供应控制；监测传感器用于管路系统运行过程中的监测。本实用新型推进了半导体加工设备的升级，优化晶圆制造环节的方案，主要针对是晶圆制造过程中化学气相沉积环节，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到芯片加工设备，为促进我国芯片制造升级迈进一步。
- 一种流体化学品智能供应系统
- [实用新型]一种半自动研磨液的供应装置-CN202020891779.1有效
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罗保兴;杨凯
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上海吉啸电子科技有限公司
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2020-05-25
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2021-06-04
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B24B57/02
- 本实用新型公开了一种半自动研磨液的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括外壳、排风装置、电控箱、操控屏、研磨液存储桶、电控搅拌装置、隔膜液泵等相关连接阀门和管道。电控搅拌装置用于研磨液存储桶定时搅拌防止研磨液中悬浮物质上下分层结晶；隔膜液泵用于研磨液存储桶内的循环和研磨液的供应输出。本实用新型提供了半导体制造企业提供一种操作及保养简单、成本低廉而且占用场地面积较小等特性的装置，其次客户可以根据自身企业的产能需求来自行选择研磨液的供应模块数量，在满足企业实际发展需要的同时，也灵活的解决了因购买成套化学研磨液的供应系统而带来的资金压力。
- 一种半自动研磨供应装置
- [实用新型]一种供应化学品定容器的配比装置-CN202020891776.8有效
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罗保兴;杨凯
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上海吉啸电子科技有限公司
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2020-05-25
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2021-04-13
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G01F22/00
- 本实用新型公开了一种供应化学品定容器的配比装置，该装置主要包括骨架、操控面板、化学研磨液混合供应装置、化学品定容器、压力监测表、液位传感器、排气装置及相关控制阀。操控面板用于控制整个设备系统自动化运作；化学研磨液混合供应装置是用于生产中研磨液配比及供应储存使用；化学品定容器的材质为聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蚀、耐压的特性，主要用于化学品中转储存和定容定量，然后再经氮气驱动化学品供应到化学研磨液混合供应装置中混合配比；压力监测表用于氮气输入和化学品定容器的压力监测，本实用新型解决了化学研磨液的调配过程中化学品注入容量不精确，流速不稳定的问题。
- 一种供应化学品容器配比装置
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