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[发明专利]阵列基板、显示面板-CN201911329771.4有效
发明人：邓银;罗皓;李挺;吴博;韦东梅;龚朝官 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，提出一种阵列基板及显示面板。该阵列基板上设置有通孔，所述阵列基板还包括环形走线区。环形走线区位于所述通孔周围；其中，所述环形走线区上设置有其沿内边沿向其外边沿延伸的切口，且至少部分所述环形走线区自其内边沿向背离显示侧的一侧弯折。本公开提供的阵列基板能够减小通孔处的边框宽度。
阵列显示面板

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器的制备方法-CN201710667475.X有效
发明人：帅垚;龚朝官;白晓圆;罗文博;吴传贵;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜体声波谐振器技术领域，具体涉及一种薄膜体声波谐振器的制备方法。本发明通过采用聚合物进行晶圆键合，代替传统离子注入剥离法常用的SiO2亲水性键合，被聚合物覆盖的电极能够根据薄膜体声波谐振器的设计需求进行图形化，由于聚合物具有流动性，晶圆键合过程中能够在压强的作用下自平坦化，图形化电极能够嵌套在聚合物中，且不对LiNbO3单晶薄膜的剥离造成任何影响，解决了单晶薄膜键合转移过程中下电极难以图形化的问题。同时，聚合物作为薄膜体声波谐振器的声反射层，解决了空气谐振腔结构强度低、布拉格声反射腔制备难度大的问题，并且器件的制备工艺简单、制备的器件结构强度大。
一种薄膜声波谐振器制备方法

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN201610494499.5有效
发明人：帅垚;李杰;罗文博;吴传贵;张万里;龚朝官;白晓圆;潘忻强 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及微电子器件领域，具体提供一种新型薄膜体声波谐振器及其制备方法，该薄膜体声波谐振器包括Si衬底，于Si衬底上相键合的Si键合层，于Si键合层上设置单晶铌酸锂薄片，所述Si键合层上表面开设空腔，对应设置于空腔内的下电极附着于单晶铌酸锂薄片下表面，于单晶铌酸锂薄片上表面设置上电极，所述上电极与下电极对应设置。本发明谐振器采用单晶铌酸锂薄片作为压电层，能够便捷精确的控制压电层晶格取向，显著提升谐振器的谐振频率和机电耦合系数等性能，同时，利用单晶铌酸锂薄片作为器件支撑结构，有效避免电极支撑带来的性能损害，进一步提升器件性能；并且本发明谐振器结构简单，加工重复性好，能够获得一致性良好的大规模线列和阵列。
一种新型薄膜声波谐振器及其制备方法

[发明专利]基于单晶铌酸锂薄片的薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN201610489078.3有效
发明人：帅垚;李杰;罗文博;吴传贵;张万里;龚朝官;白晓圆;潘忻强 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及微电子器件领域，具体涉及一种基于单晶铌酸锂薄片压电材料的薄膜体声波谐振器，以及该谐振器的制备方法。本发明用于克服现有薄膜体声波谐振器机电耦合系数过低的缺陷，该薄膜体声波谐振器包括Si衬底，于Si衬底上形成的图形化键合胶支撑层，于键合胶支撑层上设置的单晶铌酸锂薄片，于键合胶间隙中设置的下电极层附着于铌酸锂薄片下表面，于铌酸锂薄片上表面形成上电极层，所述上电极层、下电极层对应设置。该薄膜体声波谐振器既能满足高频率，也能保持极大的机电耦合系数，能够达到43％，从而极大的提高了器件传输频率带宽；且该谐振腔结构简单、加工重复性好，能够获得一致性良好的大规模线列和阵列器件。
基于单晶铌酸锂薄片薄膜声波谐振器及其制备方法

[发明专利]一种柔性单晶薄膜及其制备与转移方法-CN201711170411.5在审
发明人：帅垚;龚朝官;白晓圆;罗文博;吴传贵;张万里 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜制备技术，具体涉及一种柔性单晶薄膜及其制备与转移方法。本发明利用两片相同的单晶注入晶圆进行同质键合，然后高温退火以实现薄膜的剥离，制备出了中间一层为键合层，上下两层为相同薄膜层的三明治结构，所获得的柔性薄膜因采用同质键合剥离而内应力低，薄膜质量好，且具有自支撑机构，该薄膜可通过后续低温工艺转移到其它任意衬底。本发明提供的柔性单晶薄膜制备时对键合工艺的要求低，重复性好，适合工业化生产。并且可通过后续低温工艺转移到任意种类的衬底上。
一种柔性薄膜及其制备转移方法