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[发明专利]阵列基板的制备方法-CN202010867651.6在审
发明人：刘甲定;吴南辉;杨永光;苏文学;齐之刚 -专利权人：维信诺科技股份有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本发明揭示了一种阵列基板的制备方法，所述制备方法包括：S1、提供衬底基板；S2、在所述衬底基板一侧的表面上形成有源层；S3、在所述有源层远离所述衬底基板一侧的表面上形成功能膜层；S4、在上述步骤之后，通过蚀刻工艺在所述开孔区形成凹槽，所述凹槽自上而下贯穿所述功能膜层以及所述有源层，其中，所述凹槽位于所述开孔区内。本发明提供一种阵列基板的制备方法，通过在有源层远离衬底基板的一侧表面上先制备各功能层，再通过蚀刻工艺蚀刻各功能层和有源层形成凹槽，凹槽位于阵列基板的开孔区内，克服了现有的阵列基板制备时，先蚀刻有源层，再制备各功能层，造成开孔区两侧的有源层沟道特性异常的问题。
阵列制备方法

[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法-CN201410843335.X有效
发明人： 齐之刚 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜晶体管及其制作方法，所述薄膜晶体管的制作方法包括：提供一基板，在其上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成第一栅电极层及第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成第一半导体层、源漏极及第二半导体层，其中，所述第二半导体层与所述第一半导体层相叠加，且两者的掺杂类型相反；在上述结构表面形成第二绝缘层以及第二栅电极层；第一栅电极层工作电压为高电位，第二栅电极层为低电位，可以在较低的栅电压下，获得较大的工作电流，同时第一栅电极层与第二栅电极层之间的高低电位可形成电场，增大有效载流子的浓度，从而提高薄膜晶体管的电学性能，并且栅极工作电流的降低，减少了栅绝缘层击穿的可能性。
薄膜晶体管及其制作方法

[发明专利]一种显示面板、显示装置及制备方法-CN201810565014.6在审
发明人： 齐之刚 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种显示面板、显示装置及制备方法，所述显示面板包括：TFT基板；OLED器件，所述OLED器件形成在所述TFT基板上；支撑结构，所述支撑结构形成在所述OLED器件和所述TFT基板之间，或所述支撑结构形成在所述TFT基板背离所述OLED器件一侧的表面上；其中，所述支撑结构包括至少一层形变层和至少一层控制层,所述形变层和所述控制层相互接触，所述控制层用于改变所述形变层的硬度。本发明的显示面板、显示装置通过设置硬度可以调节的支撑结构，可以控制显示面板的柔性，使得显示面板具有不同的柔性，可以在刚性和柔性之间切换，丰富了使用场景、增强柔性屏幕使用时触感等效果。
显示面板支撑结构显示装置控制层形变层制备控制显示面板柔性屏幕使用场景触感背离

[发明专利]一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法-CN201410832407.0有效
发明人： 齐之刚 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法，该方法包括：在基板上制作缓冲层；在缓冲层上制作非晶硅层；在非晶硅层上覆盖金属诱导层，进行金属诱导晶化使非晶硅层转变为多晶硅层；图形化所述多晶硅层形成沟道区和源漏区；刻蚀掉所述沟道区因金属诱导晶化残留有金属粒子的表层；在源漏区和经刻蚀的沟道区上依次形成栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层和源漏极。本发明实现了沟道区和源漏区金属粒子浓度的分别控制，不但使得沟道区金属粒子浓度较低，减小漏电流；而且使得源漏区金属粒子浓度较高，且金属粒子可作为掺杂物减少重掺杂工艺，同时减小接触电阻，最终消除残留在有源区的金属粒子对器件性能的影响。
金属粒子沟道区源漏区非晶硅层低温多晶硅薄膜晶体管金属诱导晶化多晶硅层缓冲层减小刻蚀残留层间绝缘层金属诱导层栅极绝缘层接触电阻器件性能掺杂物漏电流图形化源漏极重掺杂基板源区制作制造覆盖

[实用新型]一种加热腔体及具有该加热腔体的去氢装置-CN201720399337.3有效
发明人：谭朋利;齐之刚 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种加热腔体及具有该加热腔体的去氢装置，包括腔体，所述腔体具有开口；设置于所述腔体内的基板承载板，以及挡板，所述挡板位于所述开口和所述基板承载板之间，并能遮挡所述开口。由于本申请中，挡板正对着加热腔体的开口，以对气流的流入起到阻碍作用，能够有效阻挡携带微粒的气流涌入腔体内甚至到达基板承载板上，因此可以在保证去氢能力的前提下，有效地解决加热腔体内聚集较多微粒的问题。
一种加热具有装置

[实用新型]检测系统-CN201620650331.4有效
发明人： 齐之刚 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理基板的工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器，至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述工作单元的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。本实用新型通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因基板的异常导致的生产设备停机、生产部件损坏等问题。
检测系统

[发明专利]一种晶须改性的纸基摩擦材料及其制备方法-CN201310237649.0有效
发明人：费杰;罗威;黄剑锋;曹丽云;杨柳青;冯光帆;王文静;王洪坤;齐之刚;夏彬 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： D21H13/50 文献下载
摘要：一种晶须改性的纸基摩擦材料及其制备方法，按质量分数计，包括45-55％的纤维、5%-15%的晶须、15-25％的改性酚醛树脂、10%-15%的无机填料以及1%的分散剂；其制备方法采用传统的纸基摩擦材料制备工艺制作，即首先将纤维、晶须和填料在水中均匀混合制浆，抄纸成型获得摩擦材料预制体并烘干。将改性酚醛树脂溶于乙醇溶剂中制成改性酚醛树脂乙醇溶液后浸渍于预制体中，待溶剂挥发后热压固化得到晶须改性纸基摩擦材料。本发明能够在湿式油润滑条件下使用，且具有高动摩擦系数、低磨损率、对对偶材料磨损小。
一种改性摩擦材料及其制备方法