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[发明专利]一种柔性薄膜底栅双沟道晶体管-CN201611059419.X有效
发明人：秦国轩;黄治塬;靳萌萌;刘昊;王亚楠;党孟娇 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：一种柔性薄膜底栅双沟道晶体管，包括衬底，所述的衬底为柔性衬底，所述衬底上依次设置有ITO导电层和SiO氧化层，所述SiO氧化层上设置有单晶硅薄膜、第一源极、第二源极、漏极和栅极，其中，所述单晶硅薄膜通过金属互联线分别连接第一源极、第二源极和漏极，所述栅极通过金属互联线连接导电柱的一端，所述导电柱的另一端依次插入所述的SiO氧化层和ITO导电层至衬底上，从而使所述的栅极通过金属互联线和导电柱连接ITO导电层。本发明可应用于柔性射频领域的，即应用于有源天线，远程射频识别，生物医学遥感，可折叠相控阵列天线等许多领域，制作工艺与柔性电容、电感、PIN二极管等完全兼容。能够通过结合使用单晶硅薄膜转移工艺实现高性能的薄膜晶体管。
一种柔性薄膜底栅双沟道晶体管

[发明专利]一种具有柔性薄膜微波应变PIN二极管阵列的检测器-CN201510427083.7有效
发明人：秦国轩;刘昊;蔡天昊;王飞;徐艳蒙;黄治塬 -专利权人：天津大学
申请日： 2015-07-20 - 公布日： 2017-09-15 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：一种具有柔性薄膜微波应变PIN二极管阵列的检测器，在二极管阵列的信号输入端连接行驱动信号，信号输出端依次通过模拟信号处理单元和AD转换单元连接列驱动信号，二极管阵列是由多数个应变二极管单元构成，应变二极管单元有柔性的第一应变二极管和第二应变二极管，第一应变二极管和第二应变二极管的一端分别对应连接用于控制应变二极管单元的开启和关闭的第一晶体管和第二晶体管的源极，另一端接电源，第一晶体管和第二晶体管的栅极连接行驱动信号，第一晶体管和第二晶体管的漏极依次通过模拟信号处理单元和AD转换单元连接列驱动信号，第一应变二极管和第二应变二极管构成L型结构的应变二极管组。本发明可以进行高速高分辨率的物体表面的动态三维特性扫描。
一种具有柔性薄膜微波应变 pin 二极管阵列检测器

[发明专利]一种柔性薄膜射频开关-CN201611047627.8在审
发明人：秦国轩;黄治塬;刘昊;靳萌萌;党孟娇;王亚楠 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： H03K17/74 文献下载
摘要：一种柔性薄膜射频开关，包括衬底，所述的衬底为柔性衬底，所述衬底上设置有SU8粘合层，所述SU8粘合层的上面分别设置有：第一PIN二极管、第二PIN二极管、输入端、输出端和接地端，其中，所述第一PIN二极管的一端通过金属互联线连接所述的输入端，所述第一PIN二极管的另一端通过金属互联线分别连接输出端和第二PIN二极管的一端，所述第二PIN二极管的另一端通过金属互联线连接接地端。本发明是结合薄膜转移工艺，利用柔性PIN二极管开发出的可应用于柔性射频领域的开关。本发明制作工艺与柔性薄膜晶体管、PIN二极管等完全兼容。其可应用于许多无线便携设备，如手机和雷达系统。通过结合使用单晶硅薄膜转移工艺实现低寄生电阻、高射频特性的开关。
一种柔性薄膜射频开关

[发明专利]一种柔性射频应变可调无源带阻滤波器及其制造方法-CN201610751895.1在审
发明人：秦国轩;党孟娇;靳萌萌;刘昊;黄治塬;王亚楠 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： H01L23/64 文献下载
摘要：一种柔性射频应变可调无源带阻滤波器及其制造方法，包括柔性衬底，电容和电感，SU_8介质层以及用于测试的输入端和输出端。电容采用金属‑绝缘层‑金属结构，电感采用螺旋结构。电容和电感通过金属线互联并与地线连接，用于测试的输入输出端也用此层金属线连接。建立在柔性衬底上的射频电容和电感连接成带阻滤波器，利用柔性电容和电感在弯曲应变下电容值和电感值的变化，使无源滤波器的截止频率和S参数发生变化，从而形成通过机械应变而可调的无源带阻滤波器。本发明结构简单，并且寄生效应少。调谐简便，节省了调谐的成本，并且调谐范围较窄，灵敏度高。
一种柔性射频应变可调无源带阻滤波器及其制造方法

[发明专利]一种柔性射频应变可调无源带通滤波器及其制造方法-CN201610751893.2在审
发明人：秦国轩;靳萌萌;黄治塬;王亚楠;党孟娇;刘昊 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H01L23/64 文献下载
摘要：一种柔性射频应变可调无源带通滤波器及其制造方法，包括柔性衬底、电容和电感，介质层以及用于测试的输入端和输出端。将滤波器制造在柔性衬底上，滤波器的主体由一组电容和电感构成，电容采用金属‑绝缘层‑金属结构，电感采用螺旋结构，电容和电感通过金属线互联并与地线连接，用于测试的输入输出端也用此层金属线连接。建立在柔性衬底上的射频电容和电感连接成带通滤波器，利用柔性电容和电感在弯曲应变下电容值和电感值的变化，使无源滤波器的截止频率和S参数发生变化，从而形成通过机械应变而可调的无源带通滤波器。本发明结构简单，灵敏度高，并且有很少的寄生效应。应用本发明易于实现可弯曲、应变可调，带通滤波的特性。
一种柔性射频应变可调无源带通滤波器及其制造方法

[发明专利]一种基于柔性电容的应变传感器及其制造和测试方法-CN201610265838.2在审
发明人：秦国轩;刘昊;黄治塬;靳萌萌;党孟娇;王亚楠 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-04-25 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：一种基于柔性电容的应变传感器及其制造和测试方法，包括衬底，衬底上由下至上依次设置有底层金属极板、SiO介质层和上层金属极板，衬底上还设置有将底层金属极板、SiO介质层和上层金属极板全部覆盖在内的SU_8隔离屏蔽层，SU_8隔离屏蔽层的上端面分别设置有底层金属极板引出端头和上层金属极板引出端头，SU_8隔离屏蔽层内设置有用于底层金属极板与底层金属极板引出端头相连接的底层金属通孔，及用于上层金属极板与上层金属极板引出端头相连接的上层金属通孔。本发明可有效测量器件表面微小的应变变化，灵敏度高。大大提高了传感器的测量范围。具有成膜质量高、附着性好、厚度薄、内应力小等优点，能有效解决电容应变传感器与基底的附着性问题。
一种基于柔性电容应变传感器及其制造测试方法

[发明专利]一种柔性射频应变可调无源低通滤波器及制造和测量方法-CN201610263350.6在审
发明人：秦国轩;靳萌萌;黄治塬;刘昊;党孟娇;王亚楠 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-04-25 - 公布日： 2016-07-13 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：一种柔性射频应变可调无源低通滤波器及制造和测量方法，在衬底的上端面分别设置有螺旋电感中心电极和MIM电容底层金属极板，在MIM电容底层金属极板上由下到上依次设置有MIM电容介质层和MIM电容上层金属极板，衬底上设置有SU_8绝缘层，螺旋电感通孔、上层金属极板通孔、下层金属极板通孔，SU_8绝缘层上端面分别设置有：螺旋电感输出端、MIM电容输入端、MIM电容输出端、地线、滤波器输出端、螺旋电感输入端和滤波器输入端。本发明利用柔性电容和电感在弯曲应变下电容值和电感值的变化，使无源滤波器的截止频率和S参数发生变化。本发明结构简单，调谐简便，调谐范围较窄，灵敏度高，节省了调谐的成本，并且有很少的寄生效应。
一种柔性射频应变可调无源滤波器制造测量方法

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