专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种晶圆检测装置及系统-CN202223610175.3有效
  • 韩君成 - 杭州富芯半导体有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-05-26 - G01B11/00
  • 本公开提供了晶圆检测装置及系统,晶圆检测装置包括信号发射端和信号接收端;信号发射端向信号接收端发射检测信号,信号发射端和信号接收端之间的检测信号形成检测线或检测面;信号发射端和信号接收端相对于承载机构设置,承载机构用于承载多个晶圆,承载机构具有一初始位置、且能从初始位置开始沿一指定路径移动;多个晶圆一一对应放置于承载机构中的多个第一位置、且承载机构沿指定路径移动过程中,检测线或检测面与晶圆之间具有第一设定距离。本公开的晶圆检测装置能够检测承载机构中的多个晶圆因震动或机械手臂的传送误差导致的晶圆会从承载机构中略有突出的情况,有效避免了由于晶圆突出造成与工艺腔体干涉,进而产生的破片现象。
  • 一种检测装置系统
  • [实用新型]晶舟旋转系统-CN202222423415.2有效
  • 韩君成 - 杭州富芯半导体有限公司
  • 2022-09-14 - 2023-03-21 - H01L21/67
  • 本申请实施例公开了一种晶舟旋转系统,包括定子构件、底座、转子构件以及上盖,其中所述定子构件通电以提供磁力;所述底座用以容置所述定子构件;所述转子构件环绕所述定子构件,并通过磁力与所述底座相互作动;所述上盖设置于定子构件上方且连接于所述至转子构件,并用以承载晶舟。本申请的有益之处在于通过磁浮式晶舟旋转平台设计大幅降低晶舟旋转平台耗材的磨损,避免造成晶圆瑕疵,进而提升晶圆制程良率。本申请不但符合半导体产业对材料的严苛要求,更可显着地提升半导体制程效率与良率和降低制造成本。
  • 旋转系统
  • [实用新型]一种安装托架-CN202022826889.2有效
  • 李虎;施伟达;韩君成;袁祖杰;张结平;周世华 - 浙江强伟五金有限公司
  • 2020-11-30 - 2021-08-27 - A47H1/144
  • 本申请涉及窗帘杆安装的技术领域,尤其是涉及一种安装托架,其包括预先安装在墙体上的安装板和设于安装板上的托板,托板呈弯折设置,且托板上设有凹腔,托板上设有压紧组件,压紧组件包括设于托板上并封闭于凹腔上侧腔口的连接板,连接板上螺纹配合有用于将窗帘杆压紧在凹腔腔壁上的螺栓。当窗帘杆插入到凹腔内时,因连接板将凹腔的上侧腔口封闭,故窗帘杆将不易从凹腔的上侧腔口脱离;当拧紧螺栓时,螺栓把不同直径的窗帘杆均压紧在凹腔的腔壁上。本申请提高了窗帘杆的稳定性。
  • 一种安装托架

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