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[发明专利]干涉法自动调焦系统-CN92104686.3无效
发明人：张凤林;刘铁根;武进田;赵彤;蔡怀宇;靳永铭 -专利权人：天津大学
申请日： 1992-06-18 - 公布日： 1994-01-05 - 主分类号： G02B7/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉法自动调焦系统，它包括光源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13]、微机[16]、微动调焦机构[17]，所述光源[1]采用激光管，扩束镜[2]置于激光管[1]和准直镜[3]之间，来自准直镜的光束经分束器[10]反射或透射后，到达分束器[9]，被分为两束光，一束透过分束器[9]，经反射镜[8]由原光路返回；另一束经分束器[9]，反射后透过物镜[6]入射到反射面[7]上，再经物镜[6]、分束器[9]返回，上述返回的两束光形成干涉并可在接收面[13]上接收。
干涉自动调焦系统

[实用新型]激光干涉调焦装置-CN92224920.2无效
发明人：张凤林;刘铁根;武进田;赵彤;蔡怀宇;靳永铭 -专利权人：天津大学
申请日： 1992-06-18 - 公布日： 1993-02-17 - 主分类号： G02B7/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光干涉调焦装置，它包括光源(1)、准直镜(3)、物镜(6)、反射面(7)、接收面(13)，所述光源(1)采用激光管，扩束镜(2)置于激光管(1)和准直镜(3)之间，来自准直镜的光束经分束器(10)反射或透射后，到达分束器(9)，被分为两束光，一束透过分束器(9)，经反射镜(8)由原光路返回；另一束经分束器(9)，反射后透过物镜(6)入射到反射面(7)上，再经物镜(6)、分束器(9)返回，上述返回的两束光形成干涉并可在接收面(13)上接收。
激光干涉调焦装置