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[发明专利]板式换热器及温控系统-CN202310668762.8在审
发明人： 靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F28D9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种板式换热器及温控系统，包括：对由换热板片构成的换热主体进行夹紧的第一端板和第二端板；第一端板上装设有热介质流入接口、热介质流出接口、冷介质流入接口和冷介质流出接口；第二端板上开设有安装孔，并在安装孔处设有一调节组件，调节组件包括活动设置于介质流道的调节部，并与介质流道的内壁密封接触；调节调节部在介质流道中的位置，以调整介质流道长度，使得用于换热的板片数量发生变化。本发明在热介质流量发生变化时，通过控制调节部在介质流道中的位置，进而阻挡介质流道中的介质流动，以实现调整介质流道的长度，使得用于参与换热的换热板片的数量发生变化，实现调整板间流速，进而调节换热效率，增强换热效果。
板式换热器温控系统

[发明专利]换热介质回收系统和回收方法-CN202310575208.5在审
发明人：刘紫阳;董春辉;耿海东;靳李富;胡文达;郑璐 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本发明提供一种换热介质回收系统和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，系统包括分离单元、冷却单元、加热单元、回收单元和温控单元，分离单元的输入端通过管道与待回收管路的输出端连通，加热单元的输出端通过管道与待回收管路的输入端连接，分离单元的输出端分别通过管道与冷却单元和加热单元连通，将气体分别输送至冷却单元和加热单元；冷却单元通过管道与回收单元连通，将冷却后的气液混合体输送至回收单元，回收单元从冷却后的气液混合体中回收换热介质。本发明根据换热介质在不同温度下的蒸汽压变化较大的特点，极大提高了装置内部换热介质的回收率，降低温控装置的调试成本。
介质回收系统方法

[发明专利]温控装置及方法-CN202310483715.6在审
发明人： 靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种温控装置及方法，包括：第一储液箱和第二储液箱通过第一三通阀和第二三通阀并联；确定刻蚀机的工作状态；在空载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用制冷单元对第二储液箱中的冷却液进行降温；在瞬间大负载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用循环冷却主回路以及第二储液箱中存储的冷却液进行控温。本发明通过在刻蚀机处于空载状态时，利用循环冷却支路存储制冷单元所制造的多余冷量，当刻蚀机处于瞬间大负载状态时，则通过控制三通阀开合释放循环冷却支路中存储的冷量，以结合循环冷却主回路中的冷却液，共同对刻蚀温控腔进行控温，减少温控装置的能耗浪费和换热负荷，提高温控装置的温控精度，保证刻蚀机工作温度的稳定性。
温控装置方法

[发明专利]三级复叠制冷装置及控制方法-CN202310338756.6在审
发明人：刘紫阳;曹小康;董春晖;芮守祯;靳李富;胡文达 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F25B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种三级复叠制冷装置及控制方法，包括：高温级系统循环，包括第一支路循环和第二支路循环，第一支路循环为高温级压缩机、冷凝器放热侧通道以及第一蒸发冷凝器吸热侧通道通过第一管路相连构成的循环回路，第二支路循环为预冷换热器吸热侧通道、高温级压缩机以及冷凝器放热侧通道通过第二管路和第一管路相连构成的循环回路。中温级系统循环，通过第一蒸发冷凝器放热测通道与第一支路循环相连。低温级系统循环，通过预冷换热器放热侧通道与第二支路循环相连。高温级系统循环通过第一支路循环和第二支路循环分别为中温级系统循环和低温级系统循环提供冷却。降低了制冷装置整体的输入功，进而提高了制冷装置整体的能效比。
三级制冷装置控制方法

[发明专利]二次温控装置及方法-CN202310342566.1在审
发明人：胡文达;曹小康;刘紫阳;靳李富;芮守祯;郑璐;鲁元进 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F25B1/00 文献下载
摘要：本发明提供，属于温度控制技术领域，其中装置包括：包括混合换热装置、第一热交换器和制冷压缩机；混合换热装置的第一管路上依次设有循环泵、第一温度传感器和电子三通阀，混合换热装置的第二管路上设有第二温度传感器，混合换热装置的第三管路上设有电子膨胀阀；其中，电子三通阀的第二出口的连接管路上设有第三温度传感器；第一热交换器的进液口与电子三通阀的第一出口通过连接管路连接，第一热交换器的出液口与电子三通阀的第二出口通过连接管路连接，第一热交换器设置在制冷压缩机侧壁；制冷压缩机的另一侧壁设有第四温度传感器，减少了硬件占用空间，实现了二次温度控制。
二次温控装置方法

[发明专利]换热介质回收装置和回收方法-CN202310576204.9在审
发明人：刘紫阳;耿海东;董春辉;靳李富;胡文达;郑璐 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F25B29/00 文献下载
摘要：本发明提供一种换热介质回收装置和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，分流单元的入口端与设有待回收换热介质的温控装置的出口端连接，分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接，冷凝单元的出口端与回收单元连接，回收单元对气液混合物进行气液分离，得到液态的换热介质，并将分离后的气体输出至气体循环单元内；加热单元分别与压缩机和温控装置连接，气体循环单元的出口端与加热单元的入口端连接，用于将加热单元降温后的气体输出至温控装置内。本发明使得分流单元、回收单元、气体循环单元和待回收的温控装置之间形成循环通路，基于冷凝法对温控装置内的换热介质进行循环回收处理，提高了液体的回收率。
介质回收装置方法

[发明专利]温控系统及其控制方法、温控装置-CN202310308091.4在审
发明人：胡文达;曹小康;刘紫阳;靳李富;芮守祯;郑璐;鲁元进 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F25B49/02 文献下载
摘要：本发明提供一种温控系统及其控制方法、温控装置。温控系统包括：循环子系统，循环子系统与负载部件连通；制冷子系统，制冷子系统包括压缩机、换热器以及电动阀门，压缩机的输出端与换热器的第一输入端相连，换热器的第一输出端与电动阀门的输入端相连，电动阀门的输出端与压缩机的输入端相连，其中，压缩机与电动阀门之间的部分管道用于对液体进行降温；加热子系统，加热子系统包括节能装置，节能装置并联连接于所述循环子系统的管线上，且压缩机与换热器之间的部分管道置于节能装置内部，以便利用该部分管道释放的热量为液体进行加热；控制装置，控制装置与压缩机和电动阀门建立电连接。由此，能够提升能源利用率，减少能源的浪费。
温控系统及其控制方法装置

[外观设计]显示屏幕面板的温度控制图形用户界面（T-3xx系列）-CN202230795638.4有效
发明人：冯涛;何茂栋;董春辉;曹小康;常鑫;李文博;张伟;靳李富;何文明;耿海东 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： 14-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：显示屏幕面板的温度控制图形用户界面（T‑3xx系列）。2.本外观设计产品的用途：本产品用于集成电路制造过程的工艺腔温度软件运行、显示及交互。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品屏幕中图形用户界面的设计及内容。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.温控装置为现有设计，省略后视图、左视图、右视图、俯视图和仰视图。6.图形用户界面的用途：本产品的图形用户界面是用于查看、检测和控制半导体专用温控装置的图形用户界面，主视图主要用于显示设备的关键参数的数值及运行的状态值，点击主视图中的“CH1.OPE”按钮，进入“变化状态1”界面;“变化状态1”界面主要用于设置设备的设定温度值，显示设备内部温度、流量、压力等变量的数值。点击界面右下方“→”按钮，进入“变化状态2”界面，点击“TOP”按钮则进入“主视图”界面;“变化状态2”界面主要用于设置设备内部的各个部件的手动开启及停止动作，同时设置对应部件的输出数值的大小。点击界面右下方“←”按钮进入“变化状态1”界面，点击“TOP”按钮则进入“主视图”界面。
显示屏幕面板温度控制图形用户界面 xx 系列

[发明专利]一种热回收型半导体温控装置及半导体生产设备-CN202110881395.0有效
发明人：胡文达;芮守祯;曹小康;靳李富;刘紫阳;冯涛;宋朝阳;李文博 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明提供一种热回收型半导体温控装置及半导体生产设备，热回收型半导体温控装置包括制冷系统和循环系统，制冷系统包括压缩机、第一换热器、第二换热器、第三换热器、第一控制阀和油气分离器，第一换热器的第一入口和第一出口分别与冷却水循环管路连通，第一换热器的第二入口分别与第一控制阀的第一接口、油气分离器的第一接口连通，第一换热器的第二出口与第二换热器的第一入口连通，第一控制阀的第二接口与第二换热器的第一入口连通。通过制冷系统可以使得循环介质升温和降温，升温过程中第二换热器和第三换热器分别利用压缩机排出的高温气体和高温润滑油的热量，使得循环介质迅速升温，省去了加热桶对循环介质进行加热，从而降低了能耗。
一种回收半导体温控装置生产设备

[发明专利]复叠制冷系统双循环温控设备及方法-CN202110881391.2有效
发明人：芮守祯;曹小康;何茂栋;董春辉;刘紫阳;胡文达;靳李富;李文博;何文明 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： F25B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种复叠制冷系统双循环温控设备及方法，复叠制冷系统双循环温控设备包括第一压缩机、第一冷凝器的放热通路和第一蒸发器的吸热通路依次连通形成第一制冷回路，第一压缩机、第一冷凝器的放热通路和第二蒸发器的吸热通路依次连通形成第二制冷回路，第一循环装置与第一蒸发器的放热通路连通形成第一循环回路；第二压缩机、第二冷凝器的放热通路、第一换热器的放热通路和第三蒸发器的吸热通路依次连通形成第三制冷回路，第二循环装置、第二蒸发器的放热通路和第三蒸发器的放热通路依次连通形成第二循环回路。满足多种不同温度的主工艺设备或探针检测使用。
制冷系统双循环温控设备方法

[发明专利]温控系统及方法-CN202211328213.8在审
发明人：芮守祯;曹小康;何茂栋;董春辉;靳李富;冯涛;程玉雪 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种温控系统及方法，温控系统包括换热装置、水箱和支管路，换热装置的放热通道的出口与水箱的进口连通，水箱的出口通过第一主管路与负载连通，负载与换热装置的放热通道的出口通过第二主管路连通，支管路的两端分别与第一主管路和第二主管路连通。能够较大程度的降低温控系统的中循环液的温度，尤其是高温循环液对于水箱温度的影响，降低水箱内液位传感器及保温材料等的耐高温要求，提高设备安全性及可靠性，解决水箱高温的系统设计问题，减少高温带来的风险。
温控系统方法

[发明专利]温控设备及温控方法-CN202210096143.1有效
发明人：芮守祯;杨春水;何茂栋;曹小康;董春辉;靳李富;冯涛 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及温度调控技术领域，本发明提供一种温控设备及温控方法。其中，温控设备包括：水箱、第一阀体和第一泵体，所述第一阀体设置有入口、第一出口和第二出口，所述水箱、第一阀体的入口和第一阀体的第一出口适于连通形成第一循环系统，所述第一泵体与负载装置适于连通形成第二循环系统，所述入口、所述第二出口和所述第二循环系统适于连通。本发明提供的温控设备，通过设置具有第一出口和第二出口的第一阀体，通过第二出口为第二循环系统调控流体温度，无需使水箱中的流体温度达到第二循环系统的温度，降低了对水箱及相关部件的耐高温能力要求，可延长水箱及相关部件的使用寿命。
温控设备方法

[发明专利]自复叠温控设备-CN202210112882.5有效
发明人：芮守祯;曹小康;何茂栋;董春辉;胡文达;刘紫阳;靳李富 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及温度控制技术领域，本发明提供一种自复叠温控设备，包括自复叠制冷系统和温控系统，自复叠制冷系统包括压缩机和多级自复叠换热回路，自复叠换热回路包括换热器的放热管路、气液分离器、节流部件和热交换器的吸热管路以及换热器的吸热管路，换热器的放热管路通过节流部件连接热交换器的吸热管路、本级换热器的吸热管路和下一级换热器的吸热管路中的至少一个；温控系统包括多级温控回路，温控回路与热交换器的吸热管路相换热，至少一级温控回路与多级自复叠换热回路的热交换器的吸热管路相换热。本发明提供的自复叠温控设备，通过自复叠制冷系统与温控系统配合，可简化换热回路的布局方式，还能满足多通道宽温区的控温需求。
温控设备

[发明专利]一种带过冷增焓的双通道温控装置、控制方法及电子设备-CN202110981450.3有效
发明人：刘紫阳;靳李富;胡文达;常鑫;芮守祯;曹小康;董春辉 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F25B1/00 文献下载
摘要：本申请提供一种本申请提供一种双通道温控装置、控制方法及电子设备，双通道温控装置包括低温通道制冷系统、高温通道制冷系统、过冷换热器，所述高温通道制冷系统包括高温通道压缩机、高温通道蒸发器、高温通道水箱、高温通道冷凝器、高温通道蒸发器、高温通道主路膨胀阀、高温通道主路压力传感器、高温通道蒸发器出口温度传感器，所述低温通道制冷系统包括低温通道吸气压力传感器、低温通道吸气温度传感器、低温通道膨胀阀。通过将高温通道制冷系统分出一路蒸发器，对低温通道制冷系统的液体进行过冷增焓，提高低温通道制冷系统的单位制冷量。
一种过冷双通道温控装置控制方法电子设备

[发明专利]一种带过冷增焓的双通道温控装置、控制方法及电子设备-CN202110982918.0有效
发明人：刘紫阳;靳李富;胡文达;常鑫;芮守祯;曹小康;董春辉 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F25B1/00 文献下载
摘要：本申请提供一种双通道温控装置、控制方法及电子设备，双通道温控装置包括低温通道制冷系统、高温通道制冷系统、过冷换热器，所述高温通道制冷系统包括高温通道压缩机、高温通道蒸发器、高温通道吸气温度传感器、高温通道吸气压力传感器，所述低温通道制冷系统包括低温通道膨胀阀，低温通道冷凝器，其中：所述高温通道制冷系统在液体管路引出高温通道支路；所述过冷换热器分别连入低温通道液体管路和所述高温通道支路；所述高温通道支路在经过过冷换热器后回到高温通道压缩机吸气管路；过冷换热器膨胀阀，设置于所述高温通道支路，并与所述过冷换热器串联。通过将高温通道制冷系统分出一路蒸发器，对低温通道制冷系统的液体进行过冷增焓，提高低温通道制冷系统的单位制冷量。
一种过冷双通道温控装置控制方法电子设备

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