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- [发明专利]超高温压力传感器及其制造方法-CN201710961318.X在审
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雷卫武;曾朋辉
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北京中航兴盛测控技术有限公司
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2017-10-17
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2018-01-26
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G01L19/06
- 本发明公开了一种超高温压力传感器及其制造方法，包括带有散热片的引压件，导压件，散热环，外壳组成，其特征在于所述导压件是一种上部中心位置开有上部中心引压孔，下部中心位置开有与上部中心引压孔不贯通的下部中心引压孔，中部外周开有导压槽，下部开有与下部中心引压孔和导压槽贯通的下导压孔，上部开有与上部中心引压孔和导压槽贯通的上导压孔的圆柱体。由于采用了散热片和散热环两级散热结构，介质温度总体降温至原温度的25％左右。这样适用高温的溅射薄膜压力芯体可以很好地进行不高于600℃高温介质的压力测量，同时保留溅射薄膜压力传感器的体积小、测量精度高、稳定性好等优点，可以很好地应用在超高温介质压力测量领域。
- 超高温压力传感器及其制造方法
- [实用新型]薄膜应变式扭矩传感器-CN201720249023.5有效
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雷卫武;曾朋辉
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北京中航兴盛测控技术有限公司
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2017-03-15
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2017-12-15
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G01L3/22
- 本实用新型公开了一种薄膜应变式扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，固接在所述转接上下法兰之间的扭柱组成，其特征在于所述扭柱是左右侧面分别加工有弧形凹槽、上下部分别加工有三角孔、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻的四个薄膜敏感元件的金属柱。将所述四个应变敏感电阻组成惠斯通电桥电路，当所述转接上下法兰扭动时，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小，由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性轴上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。传感器结构简单、加工容易。
- 薄膜应变扭矩传感器
- [实用新型]薄膜扭矩传感器-CN201720249022.0有效
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雷卫武;曾朋辉
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北京中航兴盛测控技术有限公司
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2017-03-15
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2017-11-10
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G01L3/10
- 本实用新型公开了一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，处于同一圆周对称位置上固接在转接上下法兰之间的二根扭柱，连接在二根扭柱上的二片弹性体组成，其特征在于二片弹性体固定在二根扭柱的水平中心线上。弹性体采用溅射薄膜技术制造四个薄膜敏感元件。将四个应变敏感电阻组成惠斯通电桥，当转接上下法兰扭动时，扭柱受到扭力作用并传递到弹性体上的应变敏感电阻，应变敏感电阻阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小，由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性体上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。
- 薄膜扭矩传感器
- [实用新型]高性能应变合金薄膜扭矩传感器-CN201720249024.X有效
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雷卫武;曾朋辉
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北京中航兴盛测控技术有限公司
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2017-03-15
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2017-11-07
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G01L3/10
- 本实用新型公开了一种高性能应变合金薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，连接在转接上法兰与转接下法兰之间的均匀分布的四根扭柱组成，其特征在于所述扭柱是一侧加工有二个弧形凹槽的金属柱，另一侧采用溅射薄膜技术在表面制造二个薄膜敏感元件，选择相对的二根扭柱上的四个应变敏感电阻形成惠斯通电桥电路，当转接法兰扭动时，扭柱受到扭力作用并传递到应变敏感电阻，应变敏感电阻阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小，由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性轴上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。
- 性能应变合金薄膜扭矩传感器
- [发明专利]薄膜应变式扭矩传感器-CN201710151983.2在审
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雷卫武;曾朋辉
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北京中航兴盛测控技术有限公司
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2017-03-15
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2017-05-31
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G01L3/22
- 本发明公开了一种薄膜应变式扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，固接在所述转接上下法兰之间的扭柱组成，其特征在于所述扭柱是左右侧面分别加工有弧形凹槽、上下部分别加工有三角孔、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻的四个薄膜敏感元件的金属柱。将所述四个应变敏感电阻组成惠斯通电桥电路，当所述转接上下法兰扭动时，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小。由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性轴上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。传感器结构简单、加工容易。
- 薄膜应变扭矩传感器
- [发明专利]膜片式薄膜压力传感器-CN201510504679.2在审
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雷卫武;邓跃民
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州际科技实业有限公司
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2015-08-18
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2015-12-09
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G01L9/04
- 本发明公开了一种膜片式薄膜压力传感器，包括一个外壳体，一个焊接在所述外壳体底部中心的应变膜片，一个固定于所述外壳体内部的电路板，其特征在于，所述应变膜片是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料，通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜，然后光刻形成惠斯通电桥电路后切割分离的。另外，大片膜片材料最薄可为0.03mm，可以制造50kPa小量程压力传感器产品。由于采用大片膜片材料批量化生产弹性体，生产效率高，生产成本低，并保留了薄膜压力传感器的优良性能，克服了现有薄膜压力传感器的成本高、小量程产品生产困难的缺点，产品在军工、民用等领域得到广泛应用。
- 膜片薄膜压力传感器
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