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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种湿法刻蚀机台干燥能力的验证方法-CN202310721399.1在审
发明人：郑风勤;郑犇;席国强;陈海唐;米琳;宁威 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种湿法刻蚀机台干燥能力的验证方法，包括提供具有侧掏结构的晶圆，该侧掏结构通过在裸晶圆表面沉积ONO层，然后进行沟槽刻蚀形成，ONO层包括底层HTO层、中间层SiN层和顶层TEOS层；利用湿法刻蚀机台对晶圆进行湿法刻蚀以去除氧化层；对裸晶圆表面进行热氧化处理形成牺牲氧化层；去除SiN层和牺牲氧化层；利用扫描机台对晶圆进行良率量测和缺陷扫描，若缺陷扫描结果为凹坑缺陷，则验证失败，否则验证通过。本发明利用侧掏结构晶圆干燥不足间隙容易产生水痕，经氧化物生长及去除过程会产生凹坑缺陷，采用侧掏结构晶圆，经炉管热氧化生长及氧化层移除后，通过缺陷结果来验证机台干燥能力，提高了对湿法刻蚀机机台干燥能力的监控，提升了器件良率。
一种湿法刻蚀机台干燥能力验证方法

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