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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]运输装置-CN202222437650.5有效
发明人：蒋孝恩;张宁娜;张琳;张兰;陈定操 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请实施例提供的运输装置用于与抽气泵连接，运输装置包括：基台和滑移组件。基台包括多个通孔，通孔用于与抽气泵的进气口连通；滑移组件设于基台，滑移组件包括导轨和滑座，导轨沿第一方向延伸，滑座与导轨可移动连接，多个通孔沿导轨设置。滑移组件中的滑座可减小悬浮粒子落入导轨内，通孔用于与抽气泵的进气口连通，运输装置在移动时产生的悬浮粒子，可以由抽气泵向通孔抽气吸走，从而可以提高运输装置的洁净度。
运输装置

[实用新型]夹持装置、机械手以及机械装置-CN202222485704.5有效
发明人： 陈定操;裴达飞;蒋孝恩;王崇林 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种夹持装置、机械手以及机械装置，用于夹持晶盒以及晶舟中的至少一者，夹持装置包括承载件和夹持组件，承载件具有预定的长度、宽度以及厚度，夹持组件设置于承载件上，夹持组件包括在承载件的长度方向成对设置并相对分布的夹持件，每个夹持件与承载件相连接，其中，夹持件包括相交设置的第一夹持部以及第二夹持部，第一夹持部上设置有沿长度方向凹陷设置的第一凹槽，第二夹持部设置有沿承载件的厚度方向凹陷设置的第二凹槽，成对设置的夹持件的第一凹槽相对分布并共同夹持晶盒，成对设置的夹持件的第二凹槽相对分布并共同夹持晶舟。本方案能够完成对晶盒或晶舟的夹持，提高了搬运效率。
夹持装置机械手以及机械

[实用新型]晶圆盒的输送装置-CN202222427251.0有效
发明人：蒋孝恩;张宁娜;吴挺;朱蓉;陈定操 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶圆盒的输送装置，输送装置包括基架和输送机构；输送机构包括沿基架的第一方向间隔设置的两个输送单元，两个输送单元的输送方向相反，每个输送单元包括沿第二方向延伸的直线模组以及与直线模组连接的承载模组，直线模组用于驱动承载模组沿第二方向移动，承载模组包括第一驱动件以及与第一驱动件连接的承载件，第一驱动件用于驱动承载件旋转，且第一驱动件的输出轴沿第一方向设置；其中，第一方向和第二方向相交设置，从而通过输送单元中的直线模组驱动承载模组移动，实现对晶圆盒的输送；并且，通过上述两个输送单元可以同时沿两个相反的方向输送晶圆盒，从而提高芯片生产线上的晶圆盒输送效率。
晶圆盒输送装置

[实用新型]晶圆载具的存储装置-CN202120570954.1有效
发明人：邓群;王崇林;陈定操 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B65D19/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆载具的存储装置。本申请实施例的存储装置包括：支撑板，包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部；垫块，固定于第一端部的下侧以使支撑板整体倾斜设置，第一端部高于第二端部；止挡块，固定于第二端部的上侧；两个限位板，固定于主体部的上侧并沿第二方向间隔设置，第二方向垂直于第一方向；多个传动组件，设置于两个限位板之间并沿第二方向间隔设置，各传动组件包括沿第一方向布置的多个滚轮，各滚轮可转动地连接于主体部，各滚轮至少部分凸出于主体部的上表面并用于支撑晶圆载具。在各传动组件中，沿靠近第二端部的方向，多个滚轮的高度逐渐降低。
晶圆载具存储装置

[实用新型]晶圆载具的夹取装置-CN202120570882.0有效
发明人：程博文;陈定操;杨长春;蒋孝恩 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆载具的夹取装置，包括机械臂、夹持组件和平面精准定位件，平面精准定位件连接于机械臂与夹持组件之间，机械臂带动夹持组件空间移动，平面精准定位件包括传动架、主动轮、从动轮和传送带，传动架与所机械臂连接设置，主动轮和从动轮可转动地连接于传动架，传送带连接主动轮和从动轮；夹持组件包括夹持架、两个夹持件和驱动组件，夹持架沿第一方向延伸且固定于从动轮设置，两个夹持件在第一方向上相对设置且可滑动地连接于夹持架，驱动组件设置于夹持架且驱动两个夹持件靠近或远离。本申请实施例的夹取装置可以实现对晶圆载具的多角度夹持，满足不同情况下的使用要求。
晶圆载具装置

[实用新型]晶圆载具的开合装置-CN202120570708.6有效
发明人： 陈定操;程博文;蒋孝恩 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆载具的开合装置。本申请实施例的开合装置包括：基座；支撑平台，设置于基座上且用于承载晶圆载具；第一动力机构，连接于支撑平台且用于驱动支撑平台沿上下方向移动；第二动力机构，设置于基座上且位于支撑平台沿纵向的一侧；两个夹持机构，沿横向相对设置，各夹持机构包括夹持臂和位于夹持臂内侧的夹块，夹块连接于夹持臂且能够沿夹持臂的长度方向滑动，夹持臂的一端连接于第二动力机构。第二动力机构用于驱动夹持臂转动和驱动夹持臂沿横向移动，以将两个夹块移动到晶圆载具沿横向的两侧并夹紧晶圆载具。
晶圆载具装置

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