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- [发明专利]衬底处理装置及其镀膜挡件-CN202310957414.2在审
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陈信夫
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长鑫科技集团股份有限公司
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2023-07-28
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2023-10-27
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C23C16/44
- 本公开涉及一种衬底处理装置及其镀膜挡件，衬底处理装置的镀膜挡件包括：第一挡件及第二挡件。第一挡件抵接于反应腔室的顶壁或与反应腔室的顶壁设有第一间隙。第二挡件抵接于反应腔室的侧壁或与反应腔室的侧壁设有第二间隙，第二挡件的顶部与第一挡件相连，并环绕第一挡件的边缘周向设置，使第一挡件与第二挡件的顶部形成密封，这样反应腔室内部在真空泵的作用下形成的负压对第一挡件与反应腔室的顶壁之间的第一间隙不产生影响，即第一挡件与反应腔室的顶壁之间的第一间隙不再产生负压气流场，进而便无法将源组件的源气体通过窗口吸入第一间隙并转移到反应组件对应的反应区域，从而减小颗粒杂质的产生，且提高衬底表面上沉积的膜层均一性。
- 衬底处理装置及其镀膜
- [实用新型]盘香环绕机-CN201420094810.3有效
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陈信夫
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陈信夫
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2014-03-04
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2014-07-16
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A01M13/00
- 盘香环绕机，涉及制香设备。包括进料、线坯输送、线坯导向整直、线坯定长切断、定长线坯位置调整、盘香环绕成型退料、盘香输送、电控各装置以及盘香退料接驳器；线坯输送装置设线坯输送电机与主从动轮；线坯导向整直装置设皮带传动机构和整直轮；线坯定长切断装置设有感应器、升降气缸和刀具；定长线坯位置调整装置包括前、后段定长线坯位置调整装置；盘香环绕成型退料装置包括环绕固定架、上下环绕电机、上环绕电机升降气缸、环绕夹头、旋转盘、分割器、旋转盘电机、对滚摩擦轮副、环绕盘和退料拨叉；盘香退料接驳器设滑轨、横纵向滑动气缸、滑动架、升降气缸、拨叉和盘香接盘；盘香输送装置包括盘香托盘输送电机、托盘自动落放机构和托盘。
- 盘香环绕
- [实用新型]一种用于盘香环绕机的盘香环绕成型退料装置-CN201420094844.2有效
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陈信夫
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陈信夫
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2014-03-04
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2014-07-16
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B65H67/06
- 一种用于盘香环绕机的盘香环绕成型退料装置，涉及一种盘香环绕机。提供可自动将线坯环绕成型为盘香，并自动将成型后的盘香退出的一种用于盘香环绕机的盘香环绕成型退料装置。包括环绕固定架、上环绕电机、上环绕电机升降气缸、环绕夹头、工位旋转盘、工位分割器、工位旋转盘电机、下环绕电机、对滚摩擦轮副、至少4个环绕盘以及退料拨叉；上环绕电机升降气缸安装在环绕固定架上，上环绕电机安装在上环绕电机升降气缸输出轴上，环绕夹头安装在上环绕电机输出轴上，工位旋转盘电机通过工位分割器与工位旋转盘的主轴连接，下环绕电机输出轴接对滚摩擦轮副的主动轮，对滚摩擦轮副的从动轮设于环绕盘转轴上，退料拨叉设于工位旋转盘中心。
- 一种用于盘香环绕成型装置
- [实用新型]一种用于盘香环绕机的定长线坯位置调整装置-CN201420094855.0有效
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陈信夫
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陈信夫
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2014-03-04
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2014-07-16
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A47G33/00
- 一种用于盘香环绕机的定长线坯位置调整装置，涉及盘香环绕机。设前段定长线坯位置调整装置和后段定长线坯位置调整装置；前者设有位置调整支架、移位推料气缸、齿轮齿条传动机构、移位推料板、移位推料板导轨、移位推料板导轨滑套座、弹性导向板、二次切断气缸、二次切断刀具、移位推料板升降气缸、移位推料板升降导柱、移位推料板升降导柱套和移位推料板升降架，后者设与前者相同结构的装置以及夹扣器和拉退位气缸；移位推料气缸水平横向安装在位置调整支架上并与移位推料板升降架连接，齿轮齿条传动机构与移位推料板导轨滑套座连接，弹性导向板顶触移位推料板，二次切断刀具与二次切断气缸连接；拉退位气缸与移位推料板连接。
- 一种用于盘香环绕长线位置调整装置
- [实用新型]弧度曲线等距保温瓶-CN201120239854.7有效
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陈信夫
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陈信夫
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2011-07-08
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2012-02-22
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A47J41/02
- 本实用新型涉及的弧度曲线等距保温瓶，包括有由不锈钢材料制成的弧度曲线外壳，包括有由不锈钢材料制成的弧度曲线内胆，所述弧度曲线内胆设置在弧度曲线外壳内，所述弧度曲线内胆与弧度曲线外壳形状相同；通过本技术方案，弧度曲线外壳可随着市场需要多变造型进行设计变化，扩大了对外观有个性要求的使用群体，由于弧度曲线内胆与弧度曲线外壳保持同等距离，可使弧度曲线外壳与弧度曲线内胆保持同样的曲线弧度，容积得到提高，内外层一致的真空间隙，保温性能也得到提升，弧度曲线外壳与弧度曲线内胆同时一次性冲压成型，可简化保温瓶制作程序，提高生产效率，降低制作成本，更具市场竞争力。
- 弧度曲线等距保温瓶
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