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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]多个带电粒子束的装置-CN202010663424.1有效
发明人：任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：提出了一种用于以高分辨率和高生产能力观察样本的多束装置。在该装置中，源转换单元通过使来自一个单电子源的平行初级电子束的多个小束偏转来形成该单电子源的多个且平行的图像，并且一个物镜将多个偏转的小束聚焦到样本表面上，并在样本表面上形成多个探测点。可移动聚光透镜用于使初级电子束准直，并改变多个探测点的电流，预小束形成部件弱化初级电子束的库仑效应，并且源转换单元通过最小化并补偿物镜和聚光透镜的离轴像差来最小化多个探测点的尺寸。
带电粒子束装置

[发明专利]用于带电粒子束检查的样本预充电方法和设备-CN202311033092.9在审
发明人：刘学东;席庆坡;蒋友飞;任伟明;胡学让;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01J37/12 文献下载
摘要：本文涉及一种用于带电粒子束检查的样本预充电方法、设备和计算机可读介质。设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；孔径；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于孔径处于上游。
用于带电粒子束检查样本充电方法设备

[发明专利]用于带电粒子束检查的样本预充电方法和设备-CN201880063509.7有效
发明人：刘学东;席庆坡;蒋友飞;任伟明;胡学让;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本文公开了一种设备，该设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；开孔；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于开孔处于上游。
用于带电粒子束检查样本充电方法设备

[发明专利]使用多个带电粒子射束的装置-CN202310393035.5在审
发明人：任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本公开提出一种防旋转透镜，并将其用作具有预子射束形成机构的多射束装置中的防旋转聚光透镜。防旋转聚光透镜在改变其电流时保持子射束的旋转角度不变，从而使得预子射束形成机构能够尽可能多地阻断未使用的电子。以这种方式，多射束装置可以以高分辨率和高吞吐量观察样本，并且能够用作检查和/或查看半导体制造工业中的晶片/掩模上的缺陷的产量管理工具。
使用带电粒子装置

[发明专利]使用多个带电粒子射束的装置-CN201780081259.5有效
发明人：任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本公开提出一种防旋转透镜，并将其用作具有预子射束形成机构的多射束装置中的防旋转聚光透镜。防旋转聚光透镜在改变其电流时保持子射束的旋转角度不变，从而使得预子射束形成机构能够尽可能多地阻断未使用的电子。以这种方式，多射束装置可以以高分辨率和高吞吐量观察样本，并且能够用作检查和/或查看半导体制造工业中的晶片/掩模上的缺陷的产量管理工具。
使用带电粒子装置

[发明专利]带电粒子束检查的样品检查选配方案的动态确定的方法-CN201880063430.4有效
发明人： 陈仲玮;招允佳;方伟;关键 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本文中公开了一种方法，该方法包括：基于样品的第二组特性确定对样品上的区域的带电粒子束检查的选配方案的参数；使用该选配方案检查该区域。
带电粒子束检查样品选配方案动态确定方法

[发明专利]利用多个带电粒子束检查样本的方法-CN201880058003.7有效
发明人：曾国峰;董仲华;王義向;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本文公开了一种设备，包括：被配置为发射带电粒子的源、光学系统和台架；其中台架被配置为在其上支撑样本并且被配置为将样本在第一方向上移动第一距离；其中光学系统被配置为利用带电粒子在样本上形成探测点；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离时，将探测点同时在第一方向上移动第一距离并且在第二方向上移动第二距离；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离之后，将探测点在第一方向的相反方向上移动第一距离减去探测点之一的宽度。
利用带电粒子束检查样本方法

[发明专利]用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法-CN202211651256.X在审
发明人：任伟明;刘学东;胡学让;罗希楠;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01J37/05 文献下载
摘要：提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。
用于补偿设备中的分束器色散系统方法

[发明专利]带电粒子的多单元检测器-CN201880063458.8有效
发明人：汪苏;王勇新;陈仲玮;胡学让 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：一种多单元检测器包括第一层(420)，其具有第一导电类型的区域(422)；以及第二层(440)，其包括第二导电类型的多个区域(444)。第二层还可以包括第一导电类型的一个或多个区域(442)。第二导电类型的多个区域优选地可以通过第二层的第一导电类型的一个或多个区域(444)彼此分隔。在第二层中，第二导电类型的多个区域(444)可以与第一导电类型的一个或多个区域(442)间隔开。该检测器还可以包括第一层和第二层之间的本征层(430，432)。
带电粒子单元检测器

[发明专利]带电粒子束装置以及操作该装置的系统和方法-CN201880060710.X有效
发明人： M·G·M·J·玛森;P·P·亨佩尼尤斯;任伟明;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：一种带电粒子束装置包括子束形成单元，该子束形成单元被配置为在样品(440)上形成子束阵列(410)并且对其进行扫描。子束阵列的第一部分被聚焦到焦平面(430)上，并且子束阵列的第二部分具有至少一个子束，该至少一个子束相对于焦平面具有离焦水平(490)。该带电粒子束装置还包括检测器，其被配置为检测由子束阵列形成的样品的图像；以及处理器，其被配置为基于检测的图像来估计焦平面与样品之间的分隔水平，并且然后基于估计水平来减小分隔水平。
带电粒子束装置以及操作系统方法

[发明专利]通过反向散射粒子对掩埋特征的检测-CN201880062475.X有效
发明人：汪苏;林嘉文;陈仲玮;叶苍浚 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本文中公开了用于使用反向散射粒子检测掩埋特征的设备(100)和方法。在一个示例中，该设备包括：带电粒子的源；平台(30)；被配置为将带电粒子的射束引导到平台上支撑的样本(9)的光学器件(16)；被配置为检测来自样本的射束中的带电粒子的反向散射粒子的信号检测器(5010)；其中信号检测器具有角分辨率。在一个实例中，该方法包括：从样本的区域获得反向散射粒子的图像；基于图像来确定掩埋特征的存在或位置。
通过反向散射粒子掩埋特征检测

[发明专利]用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法-CN201880048462.7有效
发明人：任伟明;刘学东;胡学让;罗希楠;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01J37/05 文献下载
摘要：提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。
用于补偿设备中的分束器色散系统方法

[发明专利]用于带电粒子检测的方法和装置-CN202211130712.6在审
发明人：王勇新;任伟明;董仲华;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：提供了用于带电粒子检测的方法和装置。检测系统包括信号处理电路(502)，该信号处理电路(502)被配置为基于从多个电子感测元件(244)接收的电子强度数据来生成一组强度梯度。检测系统进一步包括束斑处理模块(506)，该束斑处理模块(506)被配置为：基于一组强度梯度来确定束斑的至少一个边界；以及基于所述至少一个边界来确定多个电子感测元件中的第一组电子感测元件在束斑内。束斑处理模块可以进一步被配置为：基于从第一组电子感测元件接收的电子强度数据来确定束斑的强度值，并且还基于强度值来生成晶片的图像。
用于带电粒子检测方法装置

[发明专利]用于信号电子检测的系统和方法-CN202180027489.X在审
发明人：任伟明;陈仲玮;王勇新 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01L31/115 文献下载
摘要：所公开的一些实施例包括电子检测器，电子检测器包括：具有第一部分和第二部分的第一半导体层；第二半导体层；第三半导体层；由第一半导体层、第二半导体层和第三半导体层形成的PIN区；被配置为在第一半导体层和第三半导体层之间施加反向偏置的电源；以及耗尽区，耗尽区通过反向偏置在PIN区内形成，并且耗尽区被配置为基于在耗尽区内捕获的多个信号电子的第一子集来生成检测器信号，其中第一半导体层的第二部分未被耗尽并且被配置为提供能量势垒以阻挡多个信号电子的第二子集，以及被配置为允许多个信号电子的第一子集穿过以到达耗尽区。
用于信号电子检测系统方法

[发明专利]用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法-CN202210998811.X在审
发明人： F·N·张;陈仲玮;王義向;Y·C·沈 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：公开了用于在带电粒子束装置中实施带电粒子浸没的系统和方法。根据特定实施例，带电粒子束系统包括带电粒子源和控制器，控制器控制带电粒子束系统以第一模式和第二模式发射带电粒子束，在第一模式中束被散焦，而在第二模式中束被聚焦在样本的表面上。
用于带电粒子浸没增强电压对比缺陷信号系统方法

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