专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]探测卡与载置台的平行度调整方法和检查用程序及装置-CN200610151456.3有效
  • 阿部弘晋 - 东京毅力科创株式会社
  • 2006-09-08 - 2007-03-14 - H01L21/66
  • 虽然在专利文献1~4中针对调整探测卡与晶片台的平行度的技术提出了各种提案,但是任一种都没有明确调整探测卡与晶片台的平行度的具体的方法。本发明中的调整探测卡(11)与晶片卡盘(15)的平行度的工序,具有在以探测中心为原点的X-Y坐标的第一~第四象限内的任意的四个部位处选择第一~第四探测销(11A)的工序;检测第一~第四探测销(11A)的顶端,求出各自的位置坐标值(X、Y、Z)的工序;基于第一~第四探测销的针尖的位置坐标值(X、Y、Z)计算X-Z平面和Y-Z平面上的探测卡(11)对晶片卡盘(15)的倾斜的工序;以及基于所述计算结果分别调整探测卡(11)的X-Z平面上和Y-Z平面上的倾斜的工序。
  • 探测载置台平行调整方法检查程序装置

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