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[发明专利]一种基于探针对准晶圆的双倍率光学系统-CN202311182266.8在审
发明人：曲贺盟;管海军;王超;张继真;谢晓麟 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种基于探针对准晶圆的双倍率光学系统。属于光学成像晶圆检测技术领域，具体涉及基于探针对准晶圆的双倍率光学系统。其解决了目前市场上存在的探针相机放大倍率低、数值孔径较小，达到了工程要求而降低了光学性能的问题。所述系统包括物方、高倍成像系统、低倍成像系统Ⅰ和像面，光束从物方射入后，分别经过高倍成像系统和低倍成像系统Ⅰ后射入像面；所述高倍成像系统包括第一透镜组、第二透镜组、反射镜、分光装置和滤光片，所述低倍成像系统Ⅰ包括第三透镜组、第四透镜组、分光棱镜和滤光片。本发明可以应用于半导体晶圆中晶格的电学性能测试技术领域。
一种基于探针对准双倍光学系统

[发明专利]一种大视场平场复消色差的显微物镜-CN202311174340.1在审
发明人：王超;管海军;谢晓麟;王赫;王宁;宋振强;裴洋;李典策;闫韵鸣 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2023-09-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：一种大视场平场复消色差的显微物镜。属于光学成像技术领域，具体涉及一种应用于单分子测序的大视场平场复消色差显微物镜光学系统。其解决了以往的平场复消色差显微物镜视场不足够大的问题。所述大视场平场复消色差的显微物镜包括沿物方到像方依次同轴设置的第一胶合透镜、第二胶合透镜、第三胶合透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和盖玻片玻璃。本发明所述显微物镜可以应用在基因测序技术技术领域以及显微物镜成像技术领域。
一种视场平场复消色差显微物镜

[发明专利]一种主动冷却椭球反射镜及其制造方法-CN202310954608.7在审
发明人：张继真;王哈;管海军;张铠;谢晓麟 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：本发明提出了一种主动冷却椭球反射镜及其制造方法，属于精密光学仪器。解决了现有椭球反射镜散热效果差以及制造困难的问题。反射镜为一体化结构，包括反射面、密封层和流道，所述反射镜顶部为反射面，所述反射面的面形为椭球面，所述反射面下方为密封层，所述密封层上设置有安装基准面，所述密封层内部开设有流道，所述流道上部两端为进水口和出水口，所述流道为双螺旋结构，双螺旋结构的直径从上到下依次减小，冷却液从进水口进入流道，冷却液从上至下流至双螺旋结构底部后从下至上流至双螺旋结构顶部，最后从出水口流出。它主要用于照明光学系统。
一种主动冷却椭球反射及其制造方法

[发明专利]一种红外激光复合光学系统-CN202211149813.8在审
发明人：曲贺盟;张继真;王超;谢晓麟;徐放;王哈;王赫;裴洋;管海军;张铠;王宁 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外激光复合光学系统，该系统包括：激光透镜组、共用镜组、红外镜组，三个镜组的光学元件依次同轴分布；所述共用镜组包括正光焦度第一反射镜、负光焦度第二反射镜、分光透镜；长波红外与激光的复合光束进入到共用镜组，依次经第一反射镜、第二反射镜反射后，激光在分光透镜的前表面进行反射，通过激光透镜组到达激光系统像面；长波红外光束在分光透镜处透射，经过红外镜组Ⅲ到达红外系统像面处。本发明结构紧凑、效率高，并且不存在倾斜平板所引入的非对称像散。
一种红外激光复合光学系统

[发明专利]一种显微物镜高集成度整机装置-CN202010860465.X有效
发明人：管海军;谢晓麟;张新;张继真 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种显微物镜高集成度整机装置，该装置的标定器外壳下部与基础成像物镜主体的顶部螺纹连接，零位调整柔性导向环嵌在标定器外壳内部；压电驱动器均匀分布在零位调整柔性导向环与标定镜片之间；标定镜片为基础成像物镜主体中显微物镜顶端第一片镜片且与基础成像物镜同光轴；精确调整装置中多自由度柔性导向环设置在基础成像物镜主体下部的镜壳内，径向驱动器设置在多自由度柔性导向环与核心镜组之间；轴向驱动器与镜壳螺纹连接且其顶端顶在多自由度柔性导向环的下端。本发明集成度高，可在装调集成阶段进行精调补偿，将基础成像主体的光学特性调整到位，整机集成阶段可通过零位标定器辅助实现精确定位，将集成阶段的精度损失降到最低。
一种显微物镜集成度整机装置

[发明专利]可快速装调的金属基自由曲面三反光学系统的装调方法-CN202110311209.X有效
发明人：管海军;张继真;徐放;王超;王哈 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种可快速装调的金属基自由曲面三反光学系统的装调方法，该方法如下：将主镜安装固定在系统安装框架上，利用主镜三个定位基准确定主镜的位置和姿态；以主镜为基准建立全局坐标系；将次镜参照计算出的理论位置和姿态安装在系统安装框架上；确定次镜的三个定位基准在全局坐标系下的实际位置和姿态；计算次镜三个定位基准的实际位置与理论位置之间的偏差并将其作为次镜调整垫的理论厚度；在次镜与系统安装框架之间安装加工好的次镜调整垫，对次镜姿态进行微调并固定，完成次镜装调；三镜装调方法完成与次镜相同。本发明实现了反射镜设计、加工和装调基准的统一，实现了反射镜之间相对位置的高精度配准，进而保证了最终的成像质量。
快速金属自由曲面光学系统方法

[发明专利]一种具有闭孔泡沫结构的反射镜主体设计与优化方法-CN202210479435.3在审
发明人：管海军;张继真;张铠;王哈;谢晓麟 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G06F30/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有闭孔泡沫结构的反射镜主体设计与优化方法，该方法根据3D‑Voronoi算法对随机泡沫建模，再利用Delaunay三角化算法与Voronoi算法的对偶性，根据Delaunay三角算法对排粉孔进行设计，实现反射镜内部整体的连通性约束；优化后的闭孔泡沫结构具有相对好的轻量化率和优异的力热性能，尤其在高能激光系统中，作为激光反射镜，其抗变形能力较强；相比于传统反射镜，其加工周期短，成本低，具有相对优势。
一种具有泡沫结构反射主体设计优化方法

[发明专利]一种基于拓扑优化与Voronoi支撑的金属反射镜-CN202210081609.0在审
发明人：张继真;谢晓麟;张铠;王哈;徐放;王赫 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G06T17/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于拓扑优化与Voronoi支撑的金属反射镜，该反射镜包括支撑架体，支撑晶格结构，镜面；所述的支撑晶格结构位于支撑架体与镜面之间，采用拓扑优化设计方法，得到设计空间内最优材料分布。本发明解决了Voronoi在镜体内部分布过于随机性的问题，结合拓扑优化技术，调节Voronoi网格的种子分布情况，使其相对密度，网格数量，不规则度等参数得到了优化，实现了反射镜设计中结构刚度与轻量化率的有效匹配。
一种基于拓扑优化 voronoi 支撑金属反射

[发明专利]一种可实时补偿的光学系统装调设备及其装调方法-CN202010860464.5有效
发明人：管海军;王超;徐放;谢晓麟;张继真;曲贺盟 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种可实时补偿的光学系统装调设备，该设备的激光干涉仪、深度测量仪、干涉测量仪分别将测得的各镜片面形精度、厚度、表面曲率半径传输给计算单元，定心仪监控在线调整镜片倾斜和偏心并将镜片倾斜角度和偏心距离实测数据传输给计算单元；镜面定位仪测量镜片与前一片镜片的间隔实测数据并传输给计算单元；针对光学系统第一片镜片，计算单元根据其理论装调数据和自变量参数计算得到装调指导数据；针对后续任一镜片，计算单元根据其理论装调数据、自变量参数以及前面各镜片实际检测数据偏差累加值计算该镜片的装调指导数据。本发明可根据各镜片实际检测数据进行实时补偿，指导下一片镜片装调，实现高端显微物镜的快速装调。
一种实时补偿光学系统设备及其方法

[发明专利]一种离轴两反多光合一光学主系统-CN202110965338.0在审
发明人：曲贺盟;管海军;王超 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种离轴两反多光合一光学主系统，该系统包括离轴主镜和离轴次镜；所述的离轴主镜和离轴次镜均为正光焦度反射镜，且反射面均为旋转对称偶次非球面；离轴主镜将入射的平行光线汇聚在自身的焦点处，该焦点处设置一次像面视场光阑；离轴次镜焦点与离轴主镜焦点重合，经过焦点的光线通过离轴次镜反射后出射平行光线。本发明同时解决了目前机载光学载荷主系统存在中心遮拦和系统体量大的技术难题，理论上可以实现全谱段成像探测，有效的抑制了各谱段分别成像的相互干扰，各系统均能实现最优像质，适合机载环境的大口径长焦距系统的应用。
一种离轴两反多光合一光学系统

[发明专利]高陡度光学镜凸面计算全息透射检测系统-CN202010064184.3有效
发明人：王超;管海军;张新;曲贺盟 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种高陡度光学镜凸面计算全息透射检测系统，该系统的计算全息基板设置在干涉仪焦点后且位于标准镜与光学镜之间，其面向光学镜的一侧为衍射面；干涉仪发出的参考光经过出光口处的标准镜出射球面波，参考光经过计算全息基板和光学镜，由光学镜凸面反射后返回；返回的光线再经过光学镜和计算全息基板汇聚到干涉仪焦点，最终进入干涉仪，与内部参考光发生干涉；干涉仪根据干涉的相位信息获得光学镜凸面面形信息；计算全息基板的衍射面检测区域周期分布多个波浪形衍射环。本发明能够实现高陡度光学镜凸面面形全口径检测，具有结构简单，成本低，检测耗时短，检测精度高等特点。
陡度光学凸面计算全息透射检测系统

[发明专利]一种铍铝合金表面化学镀镍磷合金的方法-CN201910686896.6有效
发明人：张继真;姚远;管海军;王哈;徐放 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C18/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种铍铝合金表面化学镀镍磷合金的方法，该方法包括下述步骤：喷砂；脱脂处理；用氟化氢铵与过氧化氢酸性水溶液对铍铝合金表面进行清洗；用冷热水交替清洗；铍铝合金表面浸在含镍离子混合水溶液中浸镍；用冷热水交替清洗；在铍铝合金表面镀镍；将镀镍的铍铝合金放在烘干箱中保温。本发明简单易行，溶液配制简单且溶液稳定性极高；浸镍后进行酸性高温化学镀镍，无论采用低磷、中磷或高磷溶液，化学镀镍层均匀、无局部漏镀、针孔、麻点等现象，化学镀镍层结合力良好不易脱落，表面结晶均匀细致，呈现出金属镍的微黄色光泽。
一种铝合金表面化学镀镍磷合金方法

[发明专利]可实现温度精准原位探测的镜头结构及其温度补偿方法-CN202010919466.7在审
发明人：曲贺盟;张继真;谢晓麟;王超 -专利权人： 长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种可实现温度精准原位探测的镜头结构，该镜头结构包括镜筒，沿光轴方向依次设置的镜片，原位测温模块和精密调整模块；所述的镜筒包括依次连接的多个单段镜筒；原位测温模块包括沿各镜片圆周方向均布的四个测温单元；精密调整模块包括沿偏心补偿环节镜片圆周方向均布的四个偏心调整单元，和设置在间隔补偿环节相邻两个单段镜筒相接处内侧的四个间隔调整单元，四个间隔调整单元沿圆周方向均布。本发明可以实时对镜头从上到下，从里到外的温度数据进行原位探测和分析，对补偿环节的偏心和间隔进行调整，实现对温度变化造成的像质降低进行补偿，使镜头成像始终维持不变。
实现温度精准原位探测镜头结构及其补偿方法

[实用新型]宽谱段大数值孔径的显微物镜-CN201922352662.6有效
发明人：张新;管海军;王超;曲贺盟;张继真 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G02B21/04 文献下载
摘要：本实用新型适用显微物镜高精度光学成像技术领域，提供了一种宽谱段大数值孔径的显微物镜，显微物镜从物平面到像平面沿光路方向依次包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组；第一透镜组为折反射式透镜组，将物平面发出的光线成像到一次像面，第一透镜组用于增大数值孔径和矫正色差，且具有正光角度；第二透镜组、第三透镜组将一次像面的光线以平行光发射出去，第二透镜组、第三透镜组均具有负光角度。该显微物镜利用2次折叠光路，合理利用非球面有效校正系统高级球差，整个光学系统采用同种光学材料，成像谱段可达到300nm‑800nm，结合后端浸液，系统数值孔径可达到1.0，成像线视场可达到4.0mm，有效地实现了在具备大视场的同时兼顾高分辨率。
宽谱段大数值孔径显微物镜

[发明专利]宽谱段大数值孔径的显微物镜-CN201911335716.6在审
发明人：张新;管海军;王超;曲贺盟;张继真 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光智欧科技有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B21/04 文献下载
摘要：本发明适用显微物镜高精度光学成像技术领域，提供了一种宽谱段大数值孔径的显微物镜，其特征在于，显微物镜从物平面到像平面沿光路方向依次包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组；第一透镜组为折反射式透镜组，将物平面发出的光线成像到一次像面，第一透镜组用于增大数值孔径和矫正色差，且具有正光角度；第二透镜组、第三透镜组将一次像面的光线以平行光发射出去，第二透镜组、第三透镜组均具有负光角度。该显微物镜利用2次折叠光路，合理利用非球面有效校正系统高级球差，整个光学系统采用同种光学材料，成像谱段可达到300nm‑800nm，结合后端浸液，系统数值孔径可达到1.0，成像线视场可达到4.0mm，有效地实现了在具备大视场的同时兼顾高分辨率。
宽谱段大数值孔径显微物镜

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