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[发明专利]涂液观察方法、涂布方法、涂液观察装置及涂布装置-CN201410509533.2有效
发明人：槙野弘章;长岛充 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-09-28 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： B05D1/12 文献下载
摘要：本发明提供能容易地对涂布于载膜的涂液的积液形状线、涂布缺陷进行检测的涂液观察方法、涂布方法、涂液观察装置及涂布装置。将从涂布头(12)喷射出的浆料(S)连续涂布于由传送辊(18、20)进行传送的载膜(F)的一个主面。另一方面，从载膜(F)的另一主面侧向涂布于载膜(F)的浆料(S)照射从照射装置(34、36)所发出的红外线。利用摄像机(32)来对因浆料(S)而散射的红外线散射光进行拍摄。基于从摄像机(32)输出的图像数据来对浆料(S)的涂布状态进行观察。另外，根据所观察到的涂布状态来对浆料(S)的提供量、载膜(F)的张力等涂布设定进行变更。
观察方法装置

[发明专利]涂布装置-CN201410509455.6有效
发明人：槙野弘章;长岛充 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-09-28 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供能抑制涂布品质的下降的涂布装置。本发明的涂布装置(10)包括将贮存涂布液的箱体(11)与向对象物(19)涂布涂布液以形成涂膜的头部(12)之间连接的第1流路(13)；设置于第1流路(13)，在涂布执行期间将涂布液从箱体(11)提供给头部(12)的第1泵(14)；设置在位于第1流路(13)上且位于第1泵(14)的上游侧的位置，对涂布液进行过滤的过滤器(15)；在过滤器(15)与第1泵(14)之间从第1流路(13)分岔，在过滤器(15)的上游侧与第1流路(13)连接的第2流路(16)；以及设置于第2流路(16)，在涂布停止期间使涂布液至少经由过滤器(15)和第2流路(16)进行循环的第2泵(17)。
装置