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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种磁控式自动找平装置-CN202210748789.3在审
发明人：李金龙;罗驰;张婧婧;刘家勇;钱丽曼;何桂华;龙庆;袁俊峰;侯云芳 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十四研究所
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控式自动找平装置，用于对吸头治具的吸附面进行找平，包括从下至自适应找平机构、检测控制机构以及驱动机构，自适应找平机构包括一与检测控制机构固定连接的第一磁极组件以及相对设置在第一磁极组件下方并与吸头治具可拆卸连接的第二磁极组件，第一磁极组件和第二磁极组件通以反向电流后产生一排斥力，驱动机构驱动第一磁极组件下压第二磁极组件并推动吸头治具接触、下压贴装平面，检测控制机构检测作用于贴装平面上的压力，并于该压力抵消排斥力与第二磁极组件重力的合力后控制第一磁极组件或第二磁极组件的电流反向产生一吸引力，并对第一磁极组件和第二磁极组件进行锁定，完成吸头治具的找平，找平吸头治具的吸附面水平度不再发生变化，结构稳定可靠。
一种磁控式自动找平装置

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