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[实用新型]激光蚀刻设备-CN202320383222.0有效
发明人：罗兴烈;金润喆;延圣珍;崔庭瑀 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：提供了一种激光蚀刻设备。所述激光蚀刻设备包括：激光蚀刻室；卡盘，设置在激光蚀刻室中；激光模块，朝向卡盘发射激光束；保护窗组件，在卡盘与激光模块之间；位置传感器，被构造为感测保护窗组件的位置；以及线性运动单元，被构造为移动保护窗组件。在形成孔的工艺期间从基底产生的颗粒堆积在保护窗上，所述激光蚀刻设备能够增加保护窗的替换周期。
激光蚀刻设备

[发明专利]激光蚀刻设备和使用该激光蚀刻设备的激光蚀刻方法-CN202310188474.2在审
发明人：罗兴烈;金润喆;延圣珍;崔庭瑀 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：提供了一种激光蚀刻设备和使用该激光蚀刻设备的激光蚀刻方法。所述激光蚀刻方法包括：在激光蚀刻室中，通过从激光模块朝向紧固到卡盘的基底发射激光束来执行第一发射工艺；在执行第一发射工艺之后，将卡盘与激光模块之间的保护窗在第一方向上移动第一距离；在将保护窗在第一方向上移动第一距离之后，通过从激光模块发射激光束来执行第二发射工艺；在执行第二发射工艺之后，将保护窗在第一方向的相反方向上移动第二距离；以及在将保护窗在第一方向的相反方向上移动第二距离之后，通过从激光模块发射激光束来执行第三发射工艺。
激光蚀刻设备使用方法