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[发明专利]晶圆卡盘台-CN202211710531.0在审
发明人：李钟俱;金圣协;金桢枓;金贤真;金正桓 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种晶圆卡盘台包括：中心板，其具有多个第一突起，每个第一突起具有至少部分地限定第一参考平面的上端；分段板，其围绕中心板布置并且具有多个第二突起，每个第二突起具有至少部分地限定第二参考平面的上端，使得分段板具有至少部分地限定单独的相应第二参考平面的单独的相应多个第二突起；以及驱动单元，其被配置为调节分段板相对于中心板的倾斜角度，使得第一参考平面和单独的相应第二参考平面共面。
卡盘

[发明专利]用于控制夹持力的设备和方法-CN202211632203.3在审
发明人： 金桢枓;金圣协;金贤真;李钟俱;韩东暻 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种设备包括：卡盘，其具有被配置为支撑基板的上表面；固定单元，其被配置为产生用于将基板沿第一垂直方向固定到卡盘的夹持力并将夹持力施加到基板；以及控制器，其被配置为基于与当将基板固定到卡盘的上表面时重叠恶化的程度相对应的参考重叠分布，来在垂直于第一方向的平面上将卡盘划分为多个区域，并且独立地控制施加到多个区域中的每一个的夹持力的相应大小。控制器被配置为减小施加到多个区域中的包括具有参考重叠分布中的高重叠恶化的程度的区的区域的夹持力的大小。
用于控制夹持设备方法