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[发明专利]采用扫描电子显微镜的检查系统-CN201410100216.5有效
发明人：孔栋铉;朴英吉;李在权;金贞云;郑道淳;金显正;金锦泰 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： G01N23/2206 文献下载
摘要：一种检查系统，包括自动化光学检查装置，用于通过采用光检测检查对象的缺陷；扫描电子显微镜装置，用于通过采用电子束检查所述检查对象的所述缺陷，并且包括真空腔室；基台，位于所述扫描电子显微镜装置下方并与其分离，并且用于支撑所述检查对象；以及传送装置，与所述扫描电子显微镜装置和所述自动化光学检查装置连接，并且用于将所述扫描电子显微镜装置和所述自动化光学检查装置传送到所述基台上方的位置。在所述腔室和所述检查对象之间的间隙存有空气。因此，可以实现对大尺寸检查对象的检查以进行分析而不会损坏检查对象。
采用扫描电子显微镜检查系统

[发明专利]样品观测设备-CN201510108707.9有效
发明人： 金显正;郑道淳 -专利权人：灿美工程股份有限公司
申请日： 2015-03-12 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供一种样品观测设备，其包含能够观测并分析样品的电子显微镜。根据示范性实施例的样品观测设备(1)包含工作台(110)；平台(120)，其定位于所述工作台(110)上且样品(50)在大气压状态下装设于平台(120)上；第一轴移动单元及第二轴移动单元(130及140)，其定位于所述工作台(110)上且可与所述平台(120)一起在第一轴方向及与所述第一轴方向交叉的第二轴方向上相对移动；以及电子显微镜镜筒，其连接至所述第一轴移动单元及所述第二轴移动单元(130及140)以观测所述样品，且具有保持于真空状态的内部。因此，所述样品观测设备可在大气压下观测并分析样品(50)。
样品观测设备

[发明专利]基板检测装置-CN201210495223.0有效
发明人： 金显正 -专利权人：灿美工程股份有限公司
申请日： 2012-11-28 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板检测装置。本发明涉及的基板检测装置，在主体内部形成有用于检测基板的密闭空间的腔室。因此，不必形成用于使基板上形成的多个层与大气隔绝的封盖，也能够检测基板，并通过基板检测，发现基板缺陷部位时，仅修复缺陷部位即可使用。所以，降低基板的制造成本。另外，只需适当营造在体积相对小的空间的主体内形成的腔室气氛即可，因此具有进一步降低制造成本的效果。
检测装置

[发明专利]基板检测及修复装置-CN201210362108.6有效
发明人：姜道焕;金显正;赵启峰;元龙渊 -专利权人：灿美工程股份有限公司
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板检测及修复装置。本发明涉及的基板检测及修复装置，通过旋转用于承载支撑基板的检测单元而将基板竖立起来，从而拉近基板与操作者之间的距离，并能够将操作者对基板的视线角度设定为舒适的角度。因此具有检测操作非常方便的效果。而且，基板支撑固定在检测单元上，而检测单元的探针在基板的下侧进行升降的同时与基板的电极线连接或不连接。即，具有小尺寸和小体积的探针在进行升降，且探针设置在检测单元的内部，因此，具有缩减设置基板检测及修复装置的空间的效果。而且，不需要用于移动基板的高价装置，可降低基板检测及修复装置的成本。
检测修复装置

[发明专利]基板检测及修补装置-CN201210348293.3有效
发明人： 金显正;姜道焕;赵启峰;池泳洙 -专利权人：灿美工程股份有限公司
申请日： 2012-09-18 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板检测及修补装置。根据本发明的基板检测及修补装置，基板支撑并固定在检测单元上，检测单元的探头在基板的下方升降并与基板的电极线进行连接或不进行连接。即，升降的探头相对于基板具有小尺寸、小体积，且探头被安装在检测单元的内部，因此，具有可减少基板检测及修补装置安装空间的效果。另外，无需设置用于移动基板的高价装置，有降低基板检测及修补装置成本的效果。
检测修补装置

[发明专利]挤出面条的制作方法-CN200710147111.5无效
发明人：金在勋;朴秀铉;郑盛旭;金显正;姜南在;朴春相;孙硕俊;金庆培;盧京铉;黃俊皓;申俸直 -专利权人：农心株式会社
申请日： 2007-08-30 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： A21C11/16 文献下载
摘要：一种挤出面条的制作方法包括混合面条的原料；将面条原料与混合水揉和成生面团，通过第一挤压机胶化生面团；将胶化生面团冷却至40℃或更低的温度；通过第二挤压机从胶化生面团挤出条状面条；切割挤出的条状面条；将切好的条状面条放入模具中从而成型面条；在40～70℃的温度，在20％或更高的相对湿度下将成型面条初次干燥1～20分钟；在60～100℃的温度将面条再次干燥30～60分钟。生面团具有改善了的均匀性，挤出的条状面条容易彼此分离。制作方法增加了挤出面条成品在煮制时的松散性，减少了面条的成分洗脱量，并且防止产生裂缝，制得的面条在流通、储存和煮制时具有稳定性和方便性，面条煮制后具有优良的外观和质地。
挤出面条制作方法

[发明专利]镀膜装置和镀膜方法及该镀膜装置专用的镀膜室-CN200410000360.8无效
发明人：金一镐;金显正;赵国衡;方溢焕 -专利权人：查姆工程株式会社
申请日： 2004-01-09 - 公布日： 2005-02-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种镀膜装置和镀膜方法及该镀膜装置专用的镀膜室。本发明的目的在于，不使用可制造真空环境的真空箱，也能实现在空气中有效镀膜。该镀膜装置分别包括以下几部分：镀膜室，安装在镀件的上方一定间距处；金属供给部分，通过镀膜室给镀件提供特定的金属微粒；金属通道，设置于镀膜室，并且将金属供给部分提供的金属微粒运送到镀件；高压气体供给部分；高压气体通道，为了使通过金属通道提供给镀件的金属微粒与外部空气隔离，设置于镀膜室，并将高压气体供给部分提供的高压气体运送到镀件；至少一个排出通道，设置于镀膜室，并排出使用后产生的副产物及高压气体；排气部分，与排出通道相连，并可抽吸通过排出通道排出的使用完的金属微粒及高压气体。因此，不使用制造真空环境的真空箱，也可以在空气中有效镀膜。
镀膜装置方法专用