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[实用新型]一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置-CN202120982631.3有效
发明人：谷岩;周伟东;许济琛;范亚林;郭金槄;徐梓苏;李洁;李超;邹晨宇;陈文豪;马海航;赵慧博;张森;张一硕;李瑞 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于六维微动平台的纳米压印装置，该装置包括机架、Z向工作平台、六维微动平台、压印装置、紫外固化装置、承片台、X‑Y向工作平台。通过压印装置内的压力传感器配合六维微动平台调节透明模板至水平并在模板中心标记，通过X‑Y向工作平台调节透明衬底的位置，使承片台内的CCD相机透过透明衬底对准模板中心的标记，再通过六维微动平台使模板中心标记与透明衬底中心精准对齐，然后用模板进行压印，压印后通过紫外固化装置进行紫外固化，最后脱模。本实用新型相对于现有技术来讲，其优点是可以通过六维微动平台调节模板姿态，从而实现模板的水平调节以及模板和衬底的精准对齐。
一种基于微动平台紫外纳米压印装置

[实用新型]一种气体辅助紫外纳米压印装置-CN202022317515.8有效
发明人：谷岩;刘亚梅;许济琛;李超;陈文豪;卢发祥;李洁;康洺硕;范亚林;郭金槄;邹晨宇;袁旭;郭鑫;付斌;张昭杰 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体辅助紫外纳米压印装置，该装置包括机架、升降装置、压印装置、工作平台、气体装置、Z轴微动装置，装卡已涂胶衬底，升降装置控制压印装置下降，使其与工作平台紧密贴合形成封闭腔室，Z轴微动装置控制衬底贴近软模板，气体装置对封闭腔室抽气形成负压环境，使软模板下移进行压印，紫外线灯对压印胶进行固化，气体装置对封闭腔室充气完成脱模，最后压印装置上升，取出带有微结构的衬底，完成压印。本装置使用真空负压施压技术，在对曲面衬底压印时，能使软模板和衬底形成更好的共形接触，并有效提高压印力和脱模力的均匀性，从而增大压印胶的填充率，改善软模板损伤和衬底翘曲的问题，提高转移图案的精度和保真度。
一种气体辅助紫外纳米压印装置

[发明专利]一种可制备多级微结构的装置-CN202110249538.6在审
发明人：谷岩;林洁琼;陈斯;李洁;邹宸宇;郭金槄;许济琛;李超;陈文豪;范亚林;马海航;付斌;胡思达;黄洲 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2021-03-06 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种可制备多级微结构的装置，属于纳米压印领域。可升降平台一固定在机架的左侧板上，可升降平台二固定在机架的右侧板上，微调节装置一通过螺钉固定在可升降平台一上，微调节装置二通过螺钉固定在可升降平台二上，固定架左侧通过螺钉与可升降平台一连接、右侧通过螺钉与可升降平台二连接，压印装置通过圆柱卡扣与固定架滑动接触，支撑台通过螺钉固定在XY位移平台上，XY位移平台通过螺钉固定在机架的底板上。优点是堆叠精度高，使光辊上的微结构与平面衬底更好的线性接触，提高了堆叠的精度；便于多层堆叠：能够将光辊上压印好的单层微结构在平面衬底上进行不同层数的堆叠，使得制备多级微结构不受装置的限制。
一种制备多级微结构装置