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- [实用新型]工艺腔清洁装置-CN202320982876.5有效
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郭猛猛;张欣;王恒
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上海华力微电子有限公司
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2023-04-26
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2023-10-10
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C23C16/50
- 本实用新型提供了一种工艺腔清洁装置,包括气柜、等离子发生器及至少一个过滤器,所述气柜的出气口通过一供气管道与所述等离子发生器的进气口连通,所述等离子发生器的出气口与所述工艺腔连通,所述气柜用于供应电离气体,所述至少一个所述过滤器安装在所述供气管道上以用于对所述电离气体进行过滤。通过在所述气柜与所述等离子发生器之间的供气管道上增设过滤器,能够有效避免进入等离子发生器的电离气体受到污染,进而避免所述等离子发生器后端的工艺腔受到污染,从而避免对晶圆造成缺陷。
- 工艺清洁装置
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