专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]蒸镀装置-CN201520312552.6有效
  • 郭世聪 - 上海和辉光电有限公司
  • 2015-05-14 - 2015-11-25 - C23C14/24
  • 本实用新型提供一种蒸镀装置,通过将限制板用于限定蒸镀喷嘴的蒸镀角一侧表面,设置为与蒸镀喷嘴喷射蒸镀颗粒方向一致的倾斜表面,进而使得原先堆积于顶端处的蒸镀颗粒分布于整个倾斜表面上,进而大大降低了由于长时间累积而形成的堆积蒸镀颗粒的尺寸,有效避免因限制板上蒸镀材料堆积而阻碍蒸镀颗粒蒸发至蒸镀基板上预定位置处所造成的膜厚不均、混合比性能差等诸多缺陷。
  • 装置

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