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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种酸碱稀释用机台-CN202320442692.X有效
发明人：罗家明;邱文金;汤灿东;吴伟平;邹展 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B01F35/92 文献下载
摘要：本实用新型涉及酸碱稀释技术领域，公开了一种酸碱稀释用机台，包括壳体，所述壳体的内部的上端设有冷却槽，所述冷却槽的侧壁设有排气孔，所述壳体的外壁设有与所述排气孔相连通的排风口，所述冷却槽的内壁设有冷却水管，所述冷却槽的外壁设有注液口和排液口，所述冷却槽的上端设有盖板。本实用新型通过在冷却槽的内壁设置冷却水管，酸碱稀释释放热量时，冷却水管内的冷却水吸收热量，防止酸碱沸腾溅出容器。通过在冷却槽的侧壁设置排气孔，在壳体的外壁设置与排气孔相连通的排风口，当稀释过程中产生有毒气体时，有毒气体经排气孔流向排风口，排风口连接通风管道，从而实现了将有毒气体排出。同时，避免了注入或排出酸碱液时发生危险。
一种酸碱稀释机台

[实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202320475985.8有效
发明人：罗家明;邱文金;汤灿东;吴伟平;邹展 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种晶圆清洗装置，包括连接板，所述连接板的一端设有清洗腔，所述连接板的另一端设有喷药机构；所述清洗腔的内部可升降地设有甩干机构，所述甩干机构的上端用于安装待清洗的晶圆；所述喷药机构包括伸缩管和输药管，所述伸缩管的一端穿过所述清洗腔的外壁可移动地设置在所述清洗腔的内部，所述输药管的出药端设置在所述伸缩管的内部，所述输药管上设有调节阀。本实用新型提供的晶圆清洗装置，可清洗晶圆的各个位置，保证清洗效果，避免二次污染，同时可控制药液用量。
一种清洗装置

[实用新型]一种晶圆定位装置-CN202320729847.8有效
发明人： 邱文金;汤灿东;罗家明;吴伟平 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆定位装置，旨在可利用两个定位单元来定位晶圆的外周的两个位置，从而确定晶圆位置，让晶圆与主轴同轴，简化了结构，整个装置所占用的空间更小，其技术方案：一种晶圆定位装置，包括机架以及设置在机架上的定位机构和用于放置晶圆的主轴，所述主轴的轴向为Z轴方向，所述定位机构包括围绕主轴周向布置的两个定位单元；所述定位单元包括挡板以及驱动挡板水平直线移动的驱动模块；一个所述定位单元的挡板的移动方向为第一方向，另一个所述定位单元的挡板的移动方向为第二方向，第一方向与第二方向相交，两个挡板配合让主轴上的晶圆与主轴同轴，属于晶圆加工技术领域。
一种定位装置

[发明专利]一种硅晶片磨边机-CN202310348768.7在审
发明人：汤灿东;邱文金;罗家明;吴伟平 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅晶片磨边机，通过优化打磨装置的驱动模块，来让设备兼容圆形硅晶片和方形硅晶片的边缘打磨，其技术方案：一种硅晶片磨边机，包括机架以及设置在机架上的真空吸盘轴机构、压紧装置、定位装置和打磨装置，所述真空吸盘轴机构包括用于承载并带动硅晶片转动的主轴，所述定位装置包括位于主轴的侧边且能够靠近或远离主轴运动的挡板，所述压紧装置将硅晶片压紧在主轴上，所述打磨装置包括位于主轴的侧边的打磨头、驱动打磨头沿Z轴方向移动的第一打磨驱动模块、驱动打磨头沿Y轴方向移动的第二打磨驱动模块以及驱动打磨头沿X轴方向移动的第三打磨驱动模块，属于晶片加工技术领域。
一种晶片磨边

[实用新型]一种晶圆旋干机-CN202221959022.7有效
发明人： 邱文金;罗家明;汤灿东;吴伟平 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： F26B11/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，传动机构与甩干机构相连，传动机构能够带动甩干机构转动；甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，支撑柱为多个且沿甩干盘的周向设置，多个支撑柱围成与晶圆仿形的结构，卡柱设置于支撑柱上用于卡接晶圆。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，由于甩干机构中采用了支撑柱的结构，通过支撑柱即可对晶圆进行定位，无需将晶圆放置于整个甩干盘上，大大减小了晶圆与甩干机构的接触面积，有效提升了晶圆的洁净度。
一种晶圆旋干机

[实用新型]一种通风柜-CN202221018710.3有效
发明人： 邱文金;罗家明;陈章水;汤灿东 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B08B15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种通风柜，旨在简化结构，方便装配，其技术方案：一种通风柜，包括柜体，所述柜体内设有一隔板，所述隔板的下方形成操作室，所述隔板的上方形成过滤室，所述隔板上设有一出风口，所述过滤室内设有一过滤装置，所述过滤装置包括上下贯通的箱体，所述箱体内由下至上间隔布置有两个过滤网，两个所述过滤网之间设有向上吹风的风机，所述箱体的下端罩住所述出风口并与隔板密封连接，属于净化设备技术领域。
一种通风

[实用新型]一种甩干装置及晶圆甩干机-CN202220988954.8有效
发明人： 邱文金;罗家明 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： F26B11/18 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种甩干装置及晶圆甩干机，其中甩干装置包括甩干筒、转动机构、中空电机、排水机构和支撑机构，转动机构包括用于放置晶圆组件的甩干盘，和与甩干盘相连的传动轴；中空电机与传动轴相连，传动轴能够在中空电机的作用下带动甩干盘转动，以对晶圆组件进行清洗。和现有技术相比，本实用新型实施例采用了中空电机作为驱动机构，中空电机可有效减小振动，不仅使得整个甩干装置的稳定性提升，而且还能够有效避免碎片发生。
一种装置晶圆甩干机

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