专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]金属电极的沉积方法-CN201810575540.0有效
  • 逯心红;郝润豹;尚飞 - 青岛海信宽带多媒体技术有限公司
  • 2018-06-06 - 2020-04-28 - H01S5/028
  • 本发明公开了一种金属电极的沉积方法,该方法包括:在晶圆表面蒸涂底膜;在所述晶圆的表面涂覆双层光刻胶层,所述双层光刻胶层覆盖所述底膜;对双层光刻胶层进行曝光、显影,以显现出特定沉积图形;依次在所述沉积图形上进行第一金属和第二金属沉积;将第三金属以不同速率分次在所述第二金属层上进行沉积;去除所述晶圆表面的光刻胶层,以在所述晶圆表面形成金属电极图形。本发明通过不同沉积速率搭配沉积的方式,可以较好地维持光刻胶的胶型,防止长时间高能量原子轰击光刻胶,导致光刻胶变形塌陷,解决金属剥离困难的问题。
  • 金属电极沉积方法
  • [发明专利]一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法-CN201610961474.1有效
  • 郝润豹;逯心红;尚飞 - 青岛海信宽带多媒体技术有限公司
  • 2016-10-28 - 2019-12-06 - H01S5/042
  • 本发明提供了一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法。该方法包括:在晶圆表面形成脊结构;在晶元的表面涂覆第一光刻胶层,第一光刻胶层覆盖脊结构;在第一光刻胶层上涂覆第二光刻胶层;对脊结构上方的第一光刻胶层及第二光刻胶层进行曝光,对第二光刻胶层显影,使第一光刻胶层裸露;对裸露的第一光刻胶层进行显影;通过磁控溅射进行金属沉积形成沉积层;去除剩余的第一光刻胶层及第二光刻胶层,剥离沉积层。磁控溅射方法的离子束的方向性比较自由,则溅射粒子可以直接沉积在脊结构的侧壁上,相比较电子束蒸发设备,无需分别转动脊波导激光器,使脊波导激光器倾斜,进行两次沉积。
  • 一种波导激光器金属电极制作方法

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