专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]钴铬蚀刻工艺-CN201980090807.X有效
  • 迈克尔·维德拉;丹尼尔·乔恩·舒策 - 麦特科技公司
  • 2019-12-16 - 2023-06-20 - C25F3/02
  • 公开了用于蚀刻钴铬合金的组合物和方法。该组合物通常包括至少两种无机酸、待蚀刻合金的某些组分金属和任选的铁(Fe)。例如,当蚀刻钴铬钼合金时,所述金属可以包括铬(Cr)、钼(Mo)和任选的钴(Co)。所述至少两种无机酸可以包括盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和氢氟酸(HF)。该方法提供了蚀刻基底的整个表面或使用选择性的涂层图案和/或涂层去除以在图案中蚀刻基底的表面。因此,使用所公开的组合物和方法可以获得不受限制的图案以及蚀刻深度和蚀刻深度上的变化。
  • 蚀刻工艺

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