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- [实用新型]一种承载装置-CN202222517062.2有效
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路纪亚;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-09-22
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2023-01-17
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B65G35/00
- 一种承载装置,包括承载组件和牵引带组件;其中,承载组件用于承载目标载体,和用于引导目标载体运动至承载组件的预设位置;牵引带组件的一端固定于承载组件、另一端与目标载体连接,牵引带组件用于承载与目标载体连接的物理线缆,以带动物理线缆随目标载体同步运动。利用承载组件所起到的承载及引导作用,使得目标载体能够出入工艺设备内部,增强载体的可维护性以及维护的便利性;在目标载体出入移动的过程中,可利用牵引带组件牵引物理线缆随目标载体同步运动,从而确保物理线缆不会因拉扯而脱离目标载体或者发生断裂,使物理线缆与目标载体始终保持良好的电连接关系,从而为目标载体在维护的过程中依然能够正常工作创造有利条件。
- 一种承载装置
- [实用新型]一种固定装置-CN202122994236.X有效
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路纪亚;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2021-11-30
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2022-07-19
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G01D11/30
- 一种固定装置,可用于将半导体检测设备中的多轴精密运动平台以悬挂的方式固定于设备型材外框架内,包括具有支承部和承载部的限位件、装设于支承部的第一固定件和装设于承载部的第二固定件;第一固定件用于与多轴精密运动平台的悬挂孔位配合,以将支承部固定于多轴精密运动平台的纵向壁;第二固定件用于将承载部固定于设备型材外框架的横向梁。利用限位件将多轴精密运动平台与设备型材外框架连为一体,使得多轴精密运动平台的重量以及外部环境所产生的冲击载荷可全部由设备型材外框架承担,从而彻底消除了运输过程中遇到急刹车、反复上下坡、道路颠簸等状况时,减震部件或者多轴精密运动平台容易受损的隐患。
- 一种固定装置
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