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- [实用新型]一种晶圆喷砂机-CN202021817743.5有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-05-07
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B24C3/32
- 本实用新型公开了一种晶圆喷砂机，涉及晶圆加工领域。该晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐、第一带轮，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，且转动杆与第一带轮相连，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机。通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。
- 一种喷砂机
- [实用新型]一种晶圆刷盘-CN202021817715.3有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-20
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B08B1/02
- 本实用新型公开了—种晶圆刷盘，包括固定台，所述固定台的一侧固定连接有合页，所述合页的另一端固定连接有固定柱，所述固定柱的下端固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上端固定连接有支撑台，所述支撑台的内部固定连接有第一电动机，所述第一电动机的另一端延伸处设置有第一电动机轴，所述第一电动机轴的另一端固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板的上端固定连接有吸盘，所述固定台的内部固定连接有第二电动机，所述第二电动机的一端延伸处设置有第二电动机轴，所述第二电动机轴的侧壁固定连接有平键，所述平键的侧壁设置有套筒，所述套筒的侧壁固定连接有毛刷。本实用新型中，晶圆洗刷方便，并且毛刷可以自由拆卸。
- 一种晶圆刷盘
- [实用新型]一种晶圆挂具-CN202021818442.4有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-20
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B65D25/10
- 本实用新型公开了一种晶圆挂具，包括第二挂板，所述第二挂板的上端设置有第一挂板，所述第一挂板的前端面设置有条形孔，所述第二挂板的下端设置有圆形孔，所述第二挂板的前端面设置有放置盒，所述放置盒的上端设置有盖板，所述放置盒的上端面设置有放置室，所述放置盒的上端靠近放置室设置有凹槽，所述放置室的内壁滑动连接有分隔板，所述第一挂板的前端面固定连接有第一固定板，所述第一固定板的上端面螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有调节帽，所述螺纹杆的另一端固定连接有压板。本实用新型中，通过设置放置盒可放置多个晶圆，压板使第一挂板固定在指定位置，配合圆形孔使晶圆挂具平稳放置，实用性增强。
- 一种晶圆挂具
- [实用新型]一种晶圆传送盒-CN202021817700.7有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-13
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种晶圆传送盒，包括盒体，所述盒体的两侧均滑动连接有移动板，所述盒体的一侧端口处滑动连接有环形块，所述移动板的一侧与环形块固定连接，所述环形块的上下端且相对于盒体的端口处固定连接有支撑块，所述支撑块的内部设置有活动销轴，所述活动销轴的侧面固定连接有挡板，所述挡板的相对处固定连接有磁铁片，所述盒体的上下端中部均固定连接有固定板，所述固定板的上端固定连接有套筒若干，所述套筒的内壁滑动连接有支撑杆，所述支撑杆的侧面且相对于套筒的端口设置与第二弹簧，所述支撑杆的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的一端固定连接有弹性吸盘。本实用新型中，可有效进行一个使用。
- 一种传送
- [实用新型]一种晶圆片铲片机构-CN202021817704.5有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-13
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种晶圆片铲片机构，包括底座，所述底座的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的上方设置有控制箱，所述底座的底端固定连接有支腿，所述支腿的一侧设置有电机，所述支撑板的侧壁贯穿设置有第二转轴，所述第二转轴的一端固定连接有第二皮带轮和齿轮，所述运送区包括传送辊，所述传送辊的顶端设置有载物板，所述控制箱的底端固定连接有电气箱，所述控制箱的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的底端固定连接有气缸，所述气缸的侧壁贯穿设置有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定连接有转动盘，所述转动盘的底端贯穿设置有抓手，所述抓手的侧壁底端固定连接有斜铲。本实用新型中，可以自动高效的对晶圆片进行下片处理。
- 一种晶圆片铲片机构
- [实用新型]一种晶圆的干燥装置-CN202021817732.7有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-13
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆的干燥装置，包括一种晶圆的干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱的一侧固定连接有电机底板，所述电机底板的上表面固定连接有电机肋板，所述电机肋板的上端固定连接有电机箱，所述电机箱的一侧延伸设置有电机轴，所述电机轴的远离电机箱的一端贯穿干燥箱，所述电机轴的一端外侧固定连接有锁紧环，所述锁紧环的两侧固定连接有固定板，所述固定板的上表面固定连接有旋转板，所述固定板的下表面固定连接有定位销，所述定位销的上端贯穿固定板与旋转板，所述旋转板的上表面固定连接有真空吸盘，所述干燥箱的内部上方固定连接有伸缩杆。本实用新型中，便于清洗，不破坏晶圆的半导体结构，提高晶圆的成品率。
- 一种干燥装置
- [实用新型]一种抗震晶圆暂存盒-CN202021818367.1有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-13
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种抗震晶圆暂存盒，包括底板、盖板，其特征在于：所述底板的前表面且位于放置槽的上面设置有取放槽，所述底板的前表面且位于放置槽的左侧固定连接有第一竖板，所述第一竖板的右侧面设置有第一滑槽，所述底板的前表面且位于第一竖板的上表面固定连接有第一横板，所述第一横板的下表面设置有第二滑槽，所述底板的前表面且位于下部设置有凹槽。本实用新型中，取放槽在工作人员取放抗震晶圆时，不用担心会破坏抗震晶圆，方便快捷，凹槽与连接板相互配合底板与盖板紧密连接，密封效果更好，滑槽与滑轨方便底板与盖板的拆卸，且使整个装置具有密封性，防止灰尘进入以防破坏抗震晶圆。
- 一种抗震暂存
- [实用新型]一种晶圆加热装置-CN202021818370.3有效
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姬煜;赵通
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江苏无恙半导体科技有限公司
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2020-08-27
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2021-04-13
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆加热装置，包括底座，所述底座的上端固定连接有箱体，所述箱体的外壁固定连接有保温层，所述保温层的上端固定连接有电机，所述电机的一端延伸设置有转轴，所述转轴贯穿箱体和保温层固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底端固定连接有液压缸，所述液压缸的一端设置有液压杆，所述液压杆的一端固定连接有放置盘，所述放置盘的内部固定连接有加热管，所述加热管的内侧设置有放置腔，所述箱体的内部底端固定连接有支撑架，所述支撑架的上端固定连接有加热板，所述加热板的内部设置有散热孔。本实用新型中，加热管对晶圆的四周加热，电机带动放置盘旋转，使晶圆受热均匀，液压缸带动放置盘上下移动，使晶圆处于合适的加热位置。
- 一种加热装置
- [实用新型]一种换热管道控制管-CN202021444097.2有效
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孙暄雨;赵通;刘德权;阿轲仁;陈庚
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河北旺源管业有限公司
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2020-07-21
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2021-04-09
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F17D1/08
- 本实用新型涉及一种换热管道控制管，包括管道本体，所述管道本体分为上层：操作层，下层:污水层，对应操作层位置的管道本体的一端设置有清水进口和回水出口；清水进口一端的操作层内安装有分水管，回水出口一端的操作层内安装有集水管，所述分水管和集水管上分别制有多个分散口和多个集水口，管道本体外侧壁上分别设置有分散管口和集水管口，所述分散口通过连接管与分散管口相连通，所述集水口通过连接管与集水管口相连通，每个所述分散管口和所述集水管口之间均通过换热管相连通。本实用新型结构简单、设计新颖，通过设置分流和集流的方式借助土壤或者海洋的温度与自然水管输出时后的温度差实现换热，大大节约了能源的损耗。
- 一种管道控制
- [实用新型]一种新型非埋地换热管道-CN202021444124.6有效
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赵通;孙暄雨;阿轲仁;陈庚;刘德权
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河北旺源管业有限公司
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2020-07-21
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2021-04-09
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F28D7/16
- 本实用新型涉及一种新型非埋地换热管道，包括保护外壳、污水管道以及换热管线，所述保护外壳包括分集水检修井以及保护外管，所述集水检修井为一小型的分集水检修基座，所述分集水检修基座的两侧对称固装有保护外管，形成一个可外置的对称式保护外壳；在所述保护外壳内同轴连通安装有污水管道，所述污水管道与保护外壳之间还设置有换热管线。本实用新型结构简单，设计新颖，通过两组分流集流换热组件进行同时换热，大大提高了换热的效率，由于本装置为非埋地换热管，并且通过保护外壳的分集水检修井的设置，可以通过该井口对其内部管道进行检测及检修，大大方便了管道的定期检查，从而提高了装置整体的使用寿命。
- 一种新型管道
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